Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298993 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE ist ein von DNS Screen entwickeltes Deep-Ultraviolett (DUV) Photoresist-Gerät. Mit seiner integrierten Produktivität, Zuverlässigkeit und Genauigkeit, die für technologiegetriebene Anwendungen in der Halbleiterindustrie erforderlich ist, erhält dieses System ein hohes Leistungsniveau. DNS SK-80BW-AVPE verwendet eine automatisierte Vision-Based Pre-Exposure (AVPE) -Inspektionseinheit, um eine genaue Waferausrichtung vor dem Lithographieprozess zu gewährleisten. Diese Maschine verwendet eine TTL-Laserdiodentechnologie, um Kanten- und Mittelausrichtung sowie Stahlmaschenfehler-Inspektionen zu erkennen. Darüber hinaus bietet der motorisierte optische Zoom die Möglichkeit, die Wafergröße und die Mittelausrichtung gleichzeitig genau einzustellen. Die Inspektionen werden mit einer Pixelrate von 500/sec durchgeführt, wodurch kleinste Mikrostrukturen bis zum Abdeckungsbereich von 75mm x 75mm erkannt werden können. DAINIPPON SK 80BW AVPE verfügt über einen integrierten DUV-Beleuchter, der die optimale Dosis DUV-Licht mit einer maximalen Dosis von 4 mJ/cm2 bei einem Wellenlängenbereich von 300-340 nm liefert. Dieses Tool verfügt auch über ein photochemisches Automatisierungs-Asset (PAS), mit dem Benutzer Fotoresist-Rezepte und Belichtungsparameter einfach konfigurieren können. Das PAS hat auch die Fähigkeit, bis zu 99 Rezepte zu speichern, was den Benutzern die Flexibilität gibt, in einem einzigen Prozess zwischen verschiedenen Rezepten zu wechseln. Das innovative Design von SK-80BW-AVPE umfasst auch ein internes Temperaturregelungsmodell, das externe Kühler überflüssig macht und eine zuverlässige, wiederholbare Photoresist-Leistung bietet. Die Chlordioxid-Schleifenstromausrüstung bietet verbesserte Sicherheitsmaßnahmen und eine kostengünstige Lösung. Darüber hinaus verfügt das System über eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, die die Genauigkeit und Produktivität verbessern. Dazu gehören ein automatischer Dosierer, eine programmierbare Belichtung, ein zweistufiges automatisches Mischätzen und ein multistabiler flüssigkeitsgekühlter Beleuchter. Insgesamt bietet DNS/DAINIPPON SK 80BW AVPE eine zuverlässige und kostengünstige Photolacklösung für Anwendungen, die hohe Präzision und Genauigkeit erfordern. Das leistungsstarke Feature-Set und umfassende Sicherheitsmaßnahmen machen es zu einer idealen Wahl für moderne Mikrofabrikationsprozesse.