Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354132 zu verkaufen
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ID: 9354132
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1997
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-25)
In-line
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
Control rack
Interface
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die speziell für fortschrittliche Lithographieverfahren der nächsten Generation entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um eine ausgezeichnete Prozesssteuerung, eine kleine Auflösung der Funktionen und ein hohes Maß an Leistung bereitzustellen. DNS SK-80BW-AVPF Photolacksystem besteht aus mehreren Komponenten. Erstens enthält es einen kraftvollen Spin-Coater, der in der Lage ist, eine gleichmäßige Beschichtung von Photolack über eine Vielzahl von Substraten und Wafergrößen zu erreichen. Der Spin Coater ist in einem optimierten Design aufgebaut, um eine breite Palette von Wafergrößen und Beschichtungsparametern effektiv zu unterstützen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Photolack gleichmäßig über das gesamte Substrat aufgebracht wird. DAINIPPON SK 80BW-AVPF umfasst auch eine hochgenaue und fein abgestimmte Backstation, die dafür sorgt, dass der Fotolack gleichmäßig und ordnungsgemäß gebacken wird. Zusätzlich ist die Backstation üblicherweise mit einem mehrschichtigen PEB (Post-Exposure Bake) ausgebildet, das eine Ungleichmäßigkeit in der Resistschicht verhindert und das Risiko von Beschichtungsfehlern und Partikeln reduziert. Darüber hinaus umfasst die SK- 80BW-AVPF-Einheit eine hochgenaue Lithographie-Belichtungsstufe, die entwickelt wurde, um Substrate genau auszurichten und die genaueste und präziseste Belichtungszeit und -intensität bereitzustellen. Diese Belichtungsstufe maximiert die Auflösung kleiner Merkmale in der Photolackschicht. Schließlich beinhaltet DNS/DAINIPPON SK 80BW-AVPF eine spezielle nachentwickelte chemische Prozessstation. Dadurch wird sichergestellt, dass der Photolack ordnungsgemäß entwickelt und ordnungsgemäß vom Substrat entfernt wird, was zu einer gleichmäßigen, fehlerfreien Schicht führt. Darüber hinaus beseitigt der Post-Development-Prozess unerwünschte Rückstände, die Kontaminationen und Ausgasungen verursachen können. Insgesamt ist DAINIPPON SK-80BW-AVPF eine fortschrittliche Photolackmaschine, die eine ausgezeichnete Prozesssteuerung, eine kleine Auflösung und ein hohes Maß an Leistung bietet. Es ist ein ideales Werkzeug für den Einsatz in fortschrittlichen Lithographieverfahren der nächsten Generation und kann dazu beitragen, dass die Photolackschicht von höchster Qualität erhalten wird.
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