Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVPE #9316585 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVPE
ID: 9316585
Weinlese: 1998
(2) Coater / (3) Developer system 1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVPE ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die hauptsächlich für den Einsatz in der Herstellung integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Das System ist mit einem patentierten Dual-Jet-Verfahren zur Verarbeitung von positiven und negativen Ton-Photoresists ausgestattet, das eine überlegene Seitenverhältnisregelung und Oberflächengenauigkeit ermöglicht. Das hochmoderne Design des Gerätes umfasst auch vakuumunterstütztes Ätzen und Kammersteuerung, was das schnelle und genaue Aufbringen von Photoresists erleichtert. DNS SK-80BW-BVPE Maschine besteht aus einer Nassreinigungsstation und einem Photoresist-Beschichtungswerkzeug, die beide in eine einzige, kompakte Vorrichtung integriert sind. Die Nassreinigungsstation verwendet fortschrittliche Roboterflüssigkeitsabgabetechnologie, um organische und anorganische Verunreinigungen gleichzeitig chemisch und/oder ultraschall zu entfernen und auf einer gleichmäßigen und konsistenten Oberfläche ohne Partikelverunreinigung zu trocknen. Die Photoresist-Beschichtungsanlage verwendet ein patentiertes Dual-Jet-Verfahren, bei dem Photoresist-Chemikalien über zwei verschiedene Strahlen geliefert werden: je einen für positiven (PMMA) und negativen (SU-8) Photoresist. Die beiden unterschiedlichen chemischen Formulierungen werden präzise dosiert und in eine mit einem integrierten atmosphärischen Plasmagenerator ausgestattete Kammer eingebracht, um eine gleichmäßige Strukturierung der Chemikalie zu gewährleisten. Der optimierte Fluss von Photoresist-Chemikalien führt zu einer gleichmäßigen Schicht von Photoresist auf den Wafern, was zu einer verbesserten Seitenverhältnisregelung und höheren Ausbeuten führt. Die integrierte Ätzkammer ermöglicht ein präzises Ätzen des Fotolacks ohne zusätzliche Bearbeitungsschritte. Vakuumunterstütztes Ätzen der Resists wird ermöglicht, wodurch flüchtige Photoresistkomponenten in eine separate Kammer abgetrieben und die Ausbeute erhöht wird. Schließlich bietet DAINIPPON SK-80BW-BVPE Modell eine überlegene Kammerstabilität und Kontrolle, die eine gleichmäßige, wiederholbare Verarbeitung der Photoresists ermöglicht. Zusammenfassend ist SK-80BW-BVPE Photolackanlage mit modernsten, speziell auf die Herstellung integrierter Schaltungen zugeschnittenen Merkmalen konzipiert. Der Dual-Jet-Prozess und die integrierte Ätzkammer des Systems ermöglichen eine überlegene Seitenverhältnisregelung, höhere Erträge, schnellere Verarbeitung und verbesserte Oberflächengenauigkeit. Der optimierte Fluss von Photoresists und integriertem Plasmagenerator sorgen für konsistente, gleichmäßige Muster mit reduziertem Abfall. Das Gesamtergebnis ist eine zuverlässige Hochleistungseinheit, die für die Herstellung von Photoresists entwickelt wurde, um den heutigen strengen Fertigungsanforderungen gerecht zu werden.
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