Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #9300359 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE
ID: 9300359
Wafergröße: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8".
DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE ist eine Stief-Und-Mehrmaligfotolithographieausrüstung, die fortgeschrittenes Vakuumpresse-System einer hohen Präzision (AVP) verwertet. Diese Einheit kann elektronische Teile, Halbleiterschaltungsmuster und optische Komponenten mit Genauigkeiten von 10 und 20 nm herstellen, was eine extrem präzise Strukturierung von hochauflösenden Materialien ermöglicht. Die Maschine nutzt eine hochpräzise, linearmotorisch angetriebene 5-Achsen-Linearbewegungsstufe und X-Y-Z- θ - Φ Mechanismus, um Muster zu scannen und auszurichten, eine genauere Belichtungspositionierung und Kinematikgenauigkeit zu gewährleisten und das Risiko von Musterverzerrungen zuverlässig zu reduzieren. Das Werkzeug ist mit einer Tischplatte und einer manuellen Wafer-Transferstation ausgestattet, so dass der Wafer genau auf der Bühne platziert und zur Belichtungsstation bewegt werden kann. Darüber hinaus steht ein automatisiertes Alignment-Asset zur Verfügung, das eine präzise Ausrichtung und wiederholbare Wiederholbarkeit ermöglicht. Das Modell wurde entwickelt, um eine stabile und genaue Belichtung und konsistente Leistung während des gesamten Produktionsprozesses zu gewährleisten. Es ist mit einer hochdynamischen, hochpräzisen stufenförmigen verformbaren Spiegelausrüstung ausgestattet, um hochauflösende Belichtungen über eine breite Palette von geometrischen Merkmalen zu ermöglichen, einschließlich kleiner nadelartiger Merkmale, und gleichzeitig eine genaue Platzierungsgenauigkeit und einheitliche Belichtungen zu gewährleisten. Zusätzlich kann das System eine Luftspalt-Spalt-Fülltechnik unterstützen, die die effektive Lichtbelichtung erhöhen und optische Isolationen verbessern kann. Das Gerät ist eine kompakte und leistungsfähige photolithographische Maschine mit vielen integrierten Funktionen, einschließlich Laserdiodenbeleuchter mit einer durchschnittlichen breitbandigen Laserleistung von 1.2W, hochgenaue Vakuumpresse, bewegliche Bühne, XYZ θΦ Bewegungsmaschine, X-Y optische Encoder und programmierbare Belichtungsparameter. Zusätzlich ist ein Anti-Vibrations-Werkzeug eingebaut, um vibrationsfreie Operationen zu gewährleisten, und eine eingebaute Staub- und Schmutzdichtungsstruktur verhindert, dass Umgebungsstaub und Partikel in das Gut gelangen. DNS SK-W80B-AVPE ist ein robustes und zuverlässiges photolithographisches Modell, das für die hochpräzise Verarbeitung entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche und einfach einstellbare Parameter, um den photolithographischen Prozess zu vereinfachen. Das System ist auch voll konform mit SEMI P-14 und P-19 Standards, so dass es eine ausgezeichnete Wahl für komplexe, hochpräzise Photolithographie Anforderungen.
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