Gebraucht DOMINUS Opticoat ST30i #9218145 zu verkaufen

ID: 9218145
Coater system.
DOMINUS Opticoat ST30i ist eine Photolackausrüstung der nächsten Generation, die für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es bietet überlegene Leistungsmerkmale als herkömmliche Photolacksysteme für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist eine hochentwickelte, kostengünstige Lösung, die ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Linienbreiten bietet. Opticoat ST30i ist ein Hochleistungs- und Tieftemperatur-Backresist, der sowohl ein chemisch verstärktes als auch ein chemisch modifiziertes Standardharz enthält. Das Standardharz sorgt für eine hervorragende Substrathaftung und Linienbildung unter Beibehaltung möglichst kleiner Linienbreiten für eine verbesserte lithographische Genauigkeit. Das chemisch modifizierte Harz sorgt für eine verbesserte Gleichmäßigkeit gegenüber herkömmlichen Resists und bietet verbesserte lithographische Ausbeuten und Geräteeigenschaften. Das System verfügt auch über eine Reihe von Resistformulierungsfähigkeiten, einschließlich Antireflexionsformulierungen, Kontaktätzmasken, Resistpartikelfiltration und dickeren Resists. Diese Flexibilität macht es für eine Vielzahl von Prozessen und lithographischen Anforderungen geeignet. Darüber hinaus bieten seine Sprühbeschichtungsanlagen und abnehmbaren Module überlegene Prozessfähigkeit und Zuverlässigkeit. DOMINUS Opticoat ST30i ermöglicht eine verbesserte Gleichmäßigkeit und kritische Dimensionskontrolle in Linienbreiten und Ätzprofilen. Das breite Prozessfenster und die verbesserte Registriergenauigkeit ermöglichen eine höhere Prozessstabilität und Wiederholbarkeit. Seine niedrige Temperatur Backen entfällt die Notwendigkeit für Hochtemperatur-Backkreise, was zu erheblichen Kosteneinsparungen führt. Diese Resisteinheit bietet auch eine Vielzahl von Verfahrensvorteilen gegenüber herkömmlichen Resists, wie verbesserte optische, thermische und Hafteigenschaften. Seine niedrige Temperatur backt deutlich reduziert Energieverbrauch und thermischen Schock, während seine verbesserten optischen Eigenschaften für niedrige optische Registrierungsfehler und verbesserte Tiefe der Fokusregelung ermöglichen. Darüber hinaus bietet seine verbesserte chemische Beständigkeit und Haftung eine bessere Langzeitleistung der Resistschicht und ermöglicht längere Laufzeiten in Geräten. Opticoat ST30i ist eine fortschrittliche, kostengünstige Photoresist-Maschine, die überlegene Leistung, Zuverlässigkeit und Kosteneinsparungen gewährleistet. Seine überlegene Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Linienbreiten bieten überlegene lithographische Ausbeuten und Geräteeigenschaften. Es bietet auch eine breite Palette von Prozessvorteilen, einschließlich verbesserter optischer, thermischer und Hafteigenschaften. Damit ist DOMINUS Opticoat ST30i die perfekte Wahl für die Halbleiterherstellung.
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