Gebraucht EBARA UFP 200A #9192490 zu verkaufen

EBARA UFP 200A ist eine vollautomatische Photolackanlage, die für die Abscheidung von Photolack auf Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Photolack auf der gesamten Waferoberfläche ohne manuellen Eingriff abzuscheiden und zu spinnen. Das System verwendet eine Spin-on chemische Vorläufer, um eine gleichmäßige Schicht von Photolack auf dem Wafer abzuscheiden. UFP- 200A-Einheit verfügt über eine Inline-Prozesskammer, die eine gleichmäßige Beschichtung der gesamten Waferoberfläche ermöglicht. Seine Wafer-Heizmaschine ermöglicht eine höhere Genauigkeit in der Präzision der Resistschicht. Das Werkzeug enthält auch eine integrierte Drehzahl und Zeitüberwachung, um eine gleichmäßige Verteilung der Resistschicht auf der gesamten Waferoberfläche zu gewährleisten. EBARA UFP 200A asset kommt auch mit einem integrierten Post Exposure Bake Modul, das Nachbacktemperaturen von bis zu 200 ° C mit einer gleichmäßigen Temperaturverteilung über den gesamten Wafer liefert. Darüber hinaus verfügt das Modell über ein Atomkraftmikroskop, das präzise Messungen der Resistdicke und der Oberflächenrauhigkeit nach der Exposition ermöglicht. UFP 200A Geräte verfügen zudem über ein hochpräzises, geschlossenes Schrittsystem zur Ausrichtung des Wafers während des Belichtungsprozesses. Dadurch wird sichergestellt, dass die Belichtung sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung exakt ausgerichtet wird. Darüber hinaus verfügt die Einheit auch über eine Sicherheitsverriegelung, die verhindert, dass die Maschine den Prozess startet, bis der gesamte Wafer richtig ausgerichtet ist. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess genau und effizient durchgeführt wird. Schließlich ist EBARA UFP 200A Tool entwickelt, um eine einfache und effiziente Möglichkeit zur Erkundung neuer Photoresist-Prozesse zu bieten. Die Anlage ist in der Lage, die Abscheide- und Spinnschritte des Prozesses schnell und präzise durchzuführen, was kürzere Umlaufzeiten bei der Exploration neuer Photoresist-Rezepte ermöglicht.