Gebraucht EBARA UFP 300A #9132639 zu verkaufen

EBARA UFP 300A ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung für die Verarbeitung von Einzelbelichtungs- und Doppelkontrast-Halbleiterscheiben mit einer Nennauflösung von 0,5-2,0 Mikrometern. Das System umfasst eine kompakte stationäre Aluminium-Resistbeschichtungseinheit, die in der Lage ist, Geschwindigkeit, Volumen und Mischungsverhältnis des Resists zu steuern, um eine optimale Waferbeschichtung zu unterstützen. Die Beschichtungseinheit nutzt die patentierte EBARA-Düsentechnologie, um präzise und wiederholbare physikalische und chemische Beschichtungseigenschaften bereitzustellen. Das Gerät umfasst auch ein fortgeschrittenes, in sich geschlossenes Modul zur Entwicklung von Postprozessen mit einem eingebauten Photolack-Tintenspender und einer Reinigungsstation auf Luftbasis. Das Modul kann Wafer bis zu einer Größe von 300 mm verarbeiten und bietet präzise, wiederholbare Entwicklungs-, Ätz- und Strippprozesse mit minimaler Unterbrechung der Wafer-Sauberkeit. Die saubere Station verwendet Stickstoffspritzen, um einen qualitativ hochwertigen flusslosen Prozess zu gewährleisten. Die Maschine weist eine hervorragende Auflösung bei qualitativ hochwertiger Oberflächenbildbildung auf und bietet zudem die Möglichkeit, die relativen und absoluten Unterschiede in der Fotolackschichtdicke auf Waferebene zu steuern. Das Werkzeug unterstützt sowohl Batch- als auch kontinuierliche Prozesse und verfügt über eine offene elektrische Modulstruktur, die flexibel genug ist, um andere Prozesse einzubeziehen. Darüber hinaus enthält EBARA UFP-300A eine integrierte Schnittstelle zur Verbindung mit einem Host-Computer-Asset, die eine vollständige Online-Überwachung und Kontrolle des Modells ermöglicht. Das Gerät bietet eine benutzerfreundliche Bedienung mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und einem robusten Design bei geringem Standby-Stromverbrauch. UFP 300A verfügt auch über eine Speicherkapazität von 200GB, die selbst für die anspruchsvollsten Softwareanwendungen mehrerer Anbieter geeignet ist. Zusammenfassend ist UFP-300A ein äußerst zuverlässiges und benutzerfreundliches Photolacksystem, das für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist in der Lage, hochwertige Bilder mit Einzelbelichtung und Dual-Kontrast zu produzieren und bietet eine maßgeschneiderte benutzerfreundliche GUI für die vollständige Online-Überwachung und Steuerung des Geräts. Die Maschine ist eine kostengünstige Lösung für die moderne Halbleiterverarbeitungsindustrie.