Gebraucht EIKO IB-3 #293793575 zu verkaufen
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EIKO IB-3 ist eine Photoresist-Ausrüstung der nächsten Generation, die sowohl für Bi-Layer-Photomasken als auch für Tri-Layer-Photomasken entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, sowohl ein-, zweischichtige als auch dreischichtige Photomasken mit einem hochauflösenden Scankopf mit 1-Mikron-Genauigkeit und 0,55 nm Auflösung zu erzeugen. Es ist auch mit einem Hochgeschwindigkeits-Maskenprozessor zur schnellen Messung von Photomaskenparametern wie Linienbreiten, Gleichmäßigkeit und Kontaktlöchern ausgestattet. Darüber hinaus ermöglicht das Dünnfilm-Ätzmodul eine hochpräzise Entfernung positiver Resistsubstanzen zum Belichten und Ätzen. In Bezug auf die Genauigkeit können IB-3 zuverlässig Linienbreiten bis zu 0,2-0,3 Mikrometer erzeugen, mit einer integrierten Echtzeit-Belichtungsstabilität von ± 100nm/5s. Seine Fähigkeit, hochgenaue Linien zu produzieren, wird durch die Verwendung einer Strahltafel, die die Form des Lichtstrahls bei verringerter Belichtungszeit steuern kann, weiter verbessert. Die automatisierte Ausrichtmaschine des Geräts ermöglicht eine hochpräzise Ausrichtungsmessung mit einer Genauigkeit von 0,1 Mikron, während der hochempfindliche Photolack in der Lage ist, komplizierte Layouts mit mehreren Schichten zuverlässig zu erzeugen. Schließlich ist EIKO IB-3 sehr zuverlässig, mit einer „Null“ -Fehlerrate und ist mit eigenständigen Funktionen konzipiert, um es die ideale Wahl für anspruchsvolle Lithographie-Prozesse zu machen. Seine leistungsstarke, aber einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche unterstützt alle Stufen des Lithographieprozesses und seine integrierten Rückverfolgbarkeitsfunktionen sorgen für Datengenauigkeit. Darüber hinaus ermöglicht sein fortschrittliches Wartungsservice-Design eine einfache Wartung und Reparatur, wodurch seine zuverlässige Leistung in Serienumgebungen gewährleistet wird.
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