Gebraucht ELS TECHNOLOGY ELS-306MA #9059475 zu verkaufen

ELS TECHNOLOGY ELS-306MA „Desmear Equipment“ ist ein Fotolacksystem des führenden Photolackentwicklers ELS TECHNOLOGY. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das in der Halbleiterherstellung zur Musterdefinition verwendet wird. ELS-306MA Desmear Unit ist eine 3-in-1-Maschine mit integrierten Funktionen wie Backen, Belichtung und Entwicklung, die als umfassende integrierte Lösung für die Photoresist-Produktion dient. Das Werkzeug verfügt über eine hochintegrierte einzelne Prozesskammer für optimale Integration und Platzersparnis. Die Prozesskammer ist auf Photoresist-Prozesse zugeschnitten und bietet hervorragende Handhabungsmöglichkeiten, wie Lastschloß-Technologie und Standard-Wafer-Handling für Substrate bis 200 mm. Die Prozesskammer verfügt auch über schnelle Backzeiten, die im Bereich von 1-2 Minuten für das Backen von Proben. Darüber hinaus verfügt die Kammer über ein In-situ-Lichtüberwachungsgerät und ein integriertes Beugungsgitter, das die Beseitigung von Linienbreitenvariationen und Qualitätsproblemen durch ungenaue Parameter ermöglicht. ELS TECHNOLOGY ELS-306MA unterstützt auch eine breite Palette von Belichtungswerkzeugoptionen, wie Quadrascan, verschiedene Lasermarkierungsquellen und EB Resist Musterung. Die Maschine wird durch ein leistungsfähiges Softwarepaket unterstützt, das die einfache Einrichtung und Anpassung von Rezepten ermöglicht. Dazu gehören eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, integrierte Stapelverarbeitungsfunktionen und vorinstallierte Rezepte für über 50 Prozesse. Darüber hinaus verfügt ELS-306MA Desmear Modell über eine hervorragende Up-Time und Zuverlässigkeit, wodurch ein kontinuierlicher und problemloser Betrieb gewährleistet ist. Das Gerät verfügt über integrierte Sicherheitsfunktionen wie Überdruckschutz, Wärmeüberwachung und Überstromverhütung. Es verfügt auch über Selbstdiagnosefunktionen und integrierte Prozessverfolgung, um Prozesse bequem zu überwachen. Nicht zuletzt bietet ELS TECHNOLOGY ELS-306MA dank integrierter Multifunktionalität, schneller Verarbeitungsgeschwindigkeiten und zuverlässiger Leistung ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis. Die kompakte Bauweise und die integrierten Eigenschaften sind auch ideal für die Produktion in begrenztem Raum, was bedeutet, dass keine zusätzliche Montage oder Verdrahtung erforderlich ist.