Gebraucht ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #293630295 zu verkaufen

ELS TECHNOLOGY ELS3604FA von ELS TECHNOLOGY ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung für die optoelektronische Geräteherstellung. Das System besteht aus einer Lithographie-Workstation, einem Masken-Aligner und einer Photolackeinheit in einer kompletten integrierten Einheit. Die Lithographie-Workstation umfasst einen Hochleistungs-Scanarm, eine feste bildgebende Struktur und ein proprietäres koaxiales Mikrolinsen-Array, das ein präzise gesteuertes Lichtfeld bereitstellt, mit dem komplexe Gerätemerkmale mit Submikron-Merkmalsgröße und -auflösung gedruckt werden können. Die Scaneinheit sorgt für schnelle Belichtungszyklen und verfügt über eine automatisierte Fokus-Kalibriermaschine. Der Masken-Aligner des Werkzeugs bietet hervorragende Bildqualität und ermöglicht einen hohen Produktionsdurchsatz mit konventionellen Maskenmedien und fortschrittlichen bildgebenden Technologien wie MOEM (Micro-Optical Electro-Mechanical) und MAEM (Micro-Optical Alignment Electro-Mechanical). Der Masken-Aligner ermöglicht eine hochpräzise Ausrichtung von Masken und Substraten und kann für eine Auflösung bis auf wenige Nanometer eingestellt werden. Die Photoresist-Einheit der Anlage verfügt über einen aktiven HeNe-Laser für die Lichtbestrahlung, der eine hochauflösende Photolithographie bis auf 200 nm ermöglicht und eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit auf Nanometerskalen bietet. Das Gerät kann eine Vielzahl von Photoresists verarbeiten, wie Trockenfilm auf Wafern, chemische und thermische Sensibilisatoren für eine schnelle Entwicklung, und Hochtemperaturätzmittel für die Verträglichkeit mit CTO (Keramik zu Metall) Dichtungen. ELS3604FA Photoresist-Modell integriert eine leistungsfähige Lithographie-Workstation, einen präzisen Masken-Aligner und eine zuverlässige Photoresist-Einheit in einer kompletten Einheit - eine äußerst leistungsfähige und kostengünstige Lösung für die optoelektronische Geräteherstellung. Mit seiner hochauflösenden Bildgebung, seiner ausgezeichneten Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit sowie seiner vielseitigen Resistverarbeitungsfähigkeit bietet ELS TECHNOLOGY ELS3604FA Anwendern eine umfassende Produktionslösung.