Gebraucht EVG / EV GROUP 120 #293830309 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 120 ist eine Photoresist-Ausrüstung von EVG, die im Volksmund in der Verarbeitung auf Waferebene für Nanomaschinen verwendet wird. Es ist ideal für fortschrittliche Verpackungen auf Waferebene, 3D-integration, MEMS/MOEMS, Mikrofluidik, Photomaskenverarbeitung und andere verwandte Anwendungen. EVG 120 verfügt über ein Top-Down-12-Zoll-Wafer-Belichtungssystem mit einer Feldgröße von 180 mm x 300 mm. Es kann Chrom-auf-Quarz-Masken bis 200 Millimeter Durchmesser verarbeiten. Das Gerät steuert die Position der Projektionsoptik, Vergrößerung und Abbildungsrichtung und sorgt für optimale Flexibilität und Genauigkeit. Die Projektionsoptik hat eine hohe Übertragungsrate von > 85%, wodurch sie Strukturen mit kontrastarmen Merkmalsgrößen bis zu 0,3 Mikrometer auflösen kann. Die Maschine ist auch in der Lage, Hochdurchsatz und kostengünstige Geräteherstellung zu produzieren, da sie gegen thermische Beanspruchung bei Belichtung bei Hochleistungseinstellungen beständig ist und eine sehr geringe Ausgasung aufweist. Dadurch sind die angebotene Bildauflösung und die Durchlaufzeiten wesentlich größer als vergleichbare Systeme und somit ideal für die Serienproduktion. Darüber hinaus verfügt das Tool über mehrere eingebaute Funktionen, die es sehr zuverlässig und benutzerfreundlich machen. Neben komplexen Steuerungssystemen verfügt die EV GROUP 120 über hochempfindliche Sensoren, um eine genaue Ausrichtung und Wafer-Wiederholraten zu gewährleisten. Das Asset verwendet außerdem eine Maskenausrichtungsschicht auf Modellebene, die eine konsistente Abbildung in x- und y-Richtung gewährleistet und unkorrigierbare Belichtungsfehler beseitigt. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie ein dichroitisches Mindestverhältnis von 8 für Quarzmasken aufrechterhält und eine klare Abbildung von sogar Submikron-Strukturen gewährleistet. Abgesehen davon verfügt das System auch über eine reinraumfreundliche Bedienung mit CDA-freiem Betrieb. Damit entfällt im Wesentlichen die Notwendigkeit einer Rezirkulation schädlicher Chemikalien. 120 ist derzeit eines der zuverlässigsten und fortschrittlichsten Photolacksysteme von EV GROUP und bietet maximale Auflösung, Genauigkeit, Durchsatz und Wirtschaftlichkeit für Wafer-Anwendungen.