Gebraucht EVG / EV GROUP 150 #293606734 zu verkaufen
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EVG/EV GROUP 150 ist eine Photoresistausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung von Photoresistschichten auf Wafern verwendet wird. Es verwendet eine proprietäre Technologie, die auf sequenzgesteuerten Prozessen basiert, um komplexe Resiststrukturen mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Präzision zu schaffen. Das Photolacksystem besteht aus fünf Hauptkomponenten: dem Waferhalter, dem Steuermodul, dem Beleuchtungsmodul, dem Phototool und dem Photolackmodul. Der Waferhalter dient zum Halten eines Substrats beim Aufbringen des Photolacks. Der präzise bearbeitete Halter ist so ausgelegt, dass das Substrat während des Prozesses ohne Rutschen stabil gehalten wird. Das Steuermodul ist das Gehirn der Einheit. Er steuert die gesamte Fotolackfolge und wird über die Benutzeroberfläche (UI) programmiert. Es überwacht die Resist-Parameter und andere Prozessschritte, um eine konsistente Mustergenauigkeit zu gewährleisten. Das Beleuchtungsmodul ist eine Hochleistungslichtquelle, mit der die Photolackschicht auf dem Substrat belichtet wird. Es ist in die Fotolackmaschine integriert, um programmierbare, präzise und gleichmäßige Lichtintensität und Wellenlängenbereich bereitzustellen. Das Phototool ist ein Vakuum-Roboterarm, der verwendet wird, um den Wafer während des Photoresist-Prozesses zu bewegen und zu steuern sowie Wafer zwischen Prozessschritten zu bewegen. Das Photolackmodul trägt den Photolack auf das Substrat auf und ist die Schlüsselkomponente des Photolackwerkzeugs. Die präzise und gleichmäßige Applikation von Photolack ist der kritischste Aspekt des Prozesses und wird über das Steuermodul gesteuert. EVG 150 Photoresist Asset wird umfassend in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um präzise und einheitliche Resiststrukturen mit ausgezeichneter Mustergenauigkeit, Wiederholbarkeit und Haftung zu schaffen. Das Modell kann komplexe, komplexe Photolackschichten mit präziser Kontrolle der Größe und Gleichmäßigkeit der Funktionen erzeugen. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung hohe Genauigkeit, Effizienz und Wiederholbarkeit, was zu verbesserten Erträgen und Produktqualität führt.
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