Gebraucht EVG / EV GROUP 150 #293615061 zu verkaufen

ID: 293615061
Coater system.
EVG/EV GROUP 150 Photolackausrüstung ist ein hochmodernes Photolackentwicklungssystem, das eine schnelle Übertragung von Photolackmustern auf Substrate ermöglicht. Es ist für kommerzielle und Halbleiteranwendungen konzipiert und bietet die fortschrittlichen Funktionen für präzise Resistbeschichtungen und Strukturierungen. EVG 150 Einheit kombiniert die Flexibilität eines Folienapplikators mit der Genauigkeit eines Steppers. Es ist sehr anpassungsfähig, da es in der Lage ist, mit einer Vielzahl von Resistdicken, Musterabständen und Substraten zu arbeiten. Die Maschine verfügt über eine Reihe von Verarbeitungsfunktionen und umfasst Beschichtung, Speicherplatzierung, Belichtung, Entwicklung und andere Schritte nach dem Prozess. Das Photoresist-Werkzeug ist mit einem einzigartigen Bahntransportmechanismus und einer bandgetriebenen Messtechnik ausgestattet, die es in der Lage macht, eine hochwertige, gleichmäßige Resistbeschichtung über große Flächen schnell und gleichmäßig zu schaffen. Die Anlage besteht aus drei Komponenten: Backofen, Transferkammer und Belichtungsmodell. Der Ofen dient zur Vorwärmung des Substrats, um eine Resistbeschichtung und Strukturierung zu erleichtern. Die Transferkammer enthält den Bahntransportmechanismus, der dem Substrat eine Resistschicht hinzufügt. Die Belichtungseinrichtung fokussiert UV-Licht auf das Resistmuster, das anschließend zur Erzeugung des gewünschten Bildes entwickelt wird. Das System verfügt über eine Reihe von Funktionen, die für hochpräzise Ergebnisse sorgen. Beispielsweise ist die XY-Stufe mit einem hochauflösenden Encoder ausgelegt, der eine präzise Platzierung von Resistmustern auf Substraten ermöglicht. Die Software verwendet leistungsstarke Algorithmen und autonome Musterplatzierung, die Toleranzen und Prozessvariationen kompensieren können. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer patentierten Musterüberlagerung Verifizierungsmaschine ausgestattet, die bildgebende Technologie verwendet, um die Mustertreue zu bewerten. Das EV GROUP 150 Photoresist Tool ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Erstellung fein detaillierter Muster auf Substraten. Es ist zuverlässig und einfach zu bedienen und bietet die Genauigkeit, Flexibilität und erweiterte Funktionen, die für die Erstellung hochwertiger Ergebnisse erforderlich sind.
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