Gebraucht EVG / EV GROUP 150 #293759601 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 150 ist eine Photoresist-Ausrüstung mit automatischer Maskenausrichtung, Belichtung und Nachentwicklung in einem einzigen Gerät. Es ist ein professionelles Werkzeug für die Verarbeitung einer Vielzahl von verschiedenen Photolackmaterialien in einer Reihe von Anwendungen. Das System verfügt über eine integrierte optische Ausricht- und Belichtungseinheit, bestehend aus einer Multimodequelle, einer Laserausrichtmaschine und einem Intensitätsregler. Das Tool bietet auch eine breite Palette von verschiedenen Nachentwicklungsfunktionen, einschließlich Spin-Ätzen, additive Verarbeitung und Bandbearbeitung. EVG 150 wurde entwickelt, um eine breite Palette verschiedener Photoresist-Materialien zu verarbeiten, einschließlich Spin-on-Glass (SOG) und Fluorpolymer-Photoresist. Es soll Prozesse wie additives Ätzen, Blind über Bildung, differentielles Ätzen und Master-Substratherstellung ermöglichen. Das Asset ist in der Lage, eine Vielzahl von Dicken mit einer maximalen Ätztiefe von bis zu 1000 nm zu ätzen. Die EV GROUP 150 verfügt über ein automatisiertes Maskenausrichtungsmodell, das eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Belichtung einer Photolackschicht bietet. Die Maske wird auf einer präzisen mechanischen Ausrichtstufe mit einer Reichweite von bis zu 50 μ m montiert. Das Gerät verfügt außerdem über ein digitales Bilderfassungssystem zur Mustererkennung, das eine genaue Musterausrichtung gewährleistet. Das Gerät bietet auch Belichtungsfunktionen für eine Reihe von Photolackmaterialien. Es verfügt über eine Reihe von Quellen, darunter einen Hochleistungs-405nm-Laser, einen industriellen Ar-Ionen-Laser und einen UV-Laser. Es ist mit einer Belichtungsdauer von 35 μ s bis 35 s ausgestattet und ermöglicht eine breite Palette von Belichtungszeiten und Leistungsstufen, die verschiedenen Fotoresistmaterialien entsprechen. 150 bietet auch automatisierte Nachbearbeitungsfunktionen. Die Maschine ist mit einem Spin-Prozessor ausgestattet, der das Ätzen verschiedener Dicken in einem Schritt ermöglicht. Es ist auch in der Lage, additive Verarbeitung, so dass die Anwendung von bestimmten Schichten von Materialien wie Verdampfungsschichten. Zusätzlich kann das Werkzeug eine Bandbearbeitung anbieten, bei der Photolack exakt aus dem belichteten Bereich entfernt wird. EVG/EV GROUP 150 ist die perfekte Wahl für eine Vielzahl von Photoresist-Verarbeitungsanwendungen. Es ermöglicht präzise, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse und kann zur Verarbeitung jedes Photolackmaterials verwendet werden. Das Asset profitiert auch von einer Vielzahl von Nachbearbeitungsfunktionen, was es zu einer idealen Lösung für fortgeschrittene Forschung und Entwicklung macht.