Gebraucht EVG / EV GROUP 150 #9398332 zu verkaufen
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ID: 9398332
Automated spray coating system, parts system
With STAUBLI TX90 LCR Robot.
EVG/EV GROUP 150 Photoresist Equipment ist eine industrielle Mikroelektronik Lithographie-System entwickelt, um Hochleistungs-mikroelektronische Komponenten mit Präzision und Geschwindigkeit zu ätzen. Das Gerät basiert auf der Lithographie, einer Technologie zur Übertragung komplexer Formen auf ein Substrat. EVG 150 ist eine automatisierte Maschine, die eine Schritt-/Scanner-Einheit, ein Autofokus-Werkzeug und einen Scanner-Controller umfasst. Die Schritt-/Scanner-Einheit ist der Hauptbestandteil der Anlage und enthält eine Stufe mit einem festen Glastisch zur Substratplatzierung. Es hat ein hochpräzises Mikroskopobjektiv mit einer extrem geringen Verzerrung von weniger als 5 Nanometern (nm). Dies ermöglicht eine präzise Abbildung und Gravur des exakten Layouts der gewünschten mikroelektronischen Schaltung. Das Autofokusmodell ist ein weiterer wichtiger Bestandteil der Photolackausrüstung, da es mit einer gekühlten Digitalkamera das Bild präzise auf das Substrat fokussiert. Das System kann auch Fehler im Substrat erkennen und Echtzeit-Bildgebung des Fotolacks durchführen, um eine optimale Leistung der Ausrüstung zu gewährleisten. Dies geschieht durch Berechnung der Lichtintensität und entsprechende Einstellung des Autofokus. Darüber hinaus verwendet die EV GROUP 150 eine lasergeführte Visualisierungseinheit, um die Genauigkeit der in das Substrat geätzten Muster sicherzustellen. 150 ist extrem zuverlässig gebaut, mit einer Betriebszeit von mehr als 99,5%. Dies ist auf seine hochautomatisierten Funktionen zurückzuführen, die den Betrieb der Maschine mit minimalem Eingriff des Bedieners ermöglichen. Es verwendet auch fortschrittliche Prozeßoptimierungstechnologien, so dass das Gerät schnell die besten Parameter und das Setup für jede Anwendung ermitteln kann. Darüber hinaus ist das Tool mit einem modularen Ansatz entworfen, so dass Benutzer die Option und Add-ons anpassen, die am besten ihren individuellen Bedürfnissen entsprechen. Insgesamt ist die EVG/EV GROUP 150 Photoresist Asset eine beeindruckende, automatisierte Lösung zur Herstellung hochpräziser, leistungsstarker Mikroelektronik-Komponenten. Es bietet branchenführende Präzision und Genauigkeit und kann sehr komplizierte Designs mit Leichtigkeit produzieren. Mit modularem Aufbau, robustem Funktionsumfang und branchenführender Zuverlässigkeit ist die EVG 150 eine ausgezeichnete Wahl für die Mikroelektronikindustrie.
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