Gebraucht EVG / EV GROUP 301 #9071454 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 301 ist eine hochwertige Photolackausrüstung, die darauf ausgelegt ist, Dünnschichtstrukturen präzise zu strukturieren. Photolacksysteme werden in einer Reihe von Anwendungen wie Halbleiterbauelementstrukturen, mikroelektromechanische Systeme (MEMS) und mikrooptoelektromechanische Systeme (MOEMS) eingesetzt. EVG 301 ist für den Einsatz in mehreren Verarbeitungsschritten wie Beschichtung, Belichtung und Entwicklung konzipiert. Das System verfügt über zwei Ausrichtungssysteme, um eine genaue und präzise Positionierung der Fotolacke zu gewährleisten. Die erste Einheit ist ein 5-Achsen-automatisierter Aligner mit einstellbarer Feldgröße und Stufengeschwindigkeit. Diese Maschine bietet eine breite Palette von Ausrichtungsmerkmalen, einschließlich Musteranpassung, vollständige Werkzeugerkennung und Prozesssteuerung. Das zweite Werkzeug ist eine Präzisionsmikroskopausrichtung, die eine präzise Positionierung und Auflösung von bis zu 10 Millimetern ermöglicht. Die Anlage ist mit einem Hochleistungs-Belichtungsmodell für die Hochvolumenbildgebung mit regelmäßiger und Off-Axis-Beleuchtung ausgestattet. Es bietet zwei austauschbare Beleuchtungsmodi, Blitzmodus für Spinn- und Chargenbelichtung und Konvertierungsmodus für Reise- und Spezialbelichtungen. Das Gerät bietet auch statische und dynamische Belichtungsprozesssteuerung, so dass Benutzer die Belichtung einfach an die genauen Anforderungen jeder Anwendung anpassen können. Das System verfügt über eine hochauflösende Maskenmustererkennungseinheit zur automatischen Erkennung und Korrektur von Maskenfehlstellungen und Fehlbelichtungen. Dadurch wird sichergestellt, dass jede Photolackschicht exakt belichtet und strukturiert wird. Die Maschine ist auch mit einem hochpräzisen Spin-Entwickler ausgestattet, der eine gleichmäßige Spin-Beschichtung von Photoresists gewährleistet. Das Tool kann um zusätzliches Zubehör erweitert werden, darunter erweiterte Vektorgenerierungssoftware, ein 3D-Autofokus-Asset und eine Mikrospot-X-Y-Bühne. Insgesamt ist die EV GROUP 301 ein sehr vielseitiges und zuverlässiges Photolackmodell, das sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Das Gerät bietet Präzisionsausrichtung, Hochleistungs-Belichtungssysteme und Maskenmustererkennung und sorgt für hochwertige und präzise belichtete Fotolacke für jede Anwendung. Darüber hinaus bietet das System dem Anwender zusätzliches Zubehör für mehr Komfort und Flexibilität.