Gebraucht FSI EXCALIBUR #293815451 zu verkaufen

FSI EXCALIBUR
Hersteller
FSI
Modell
EXCALIBUR
ID: 293815451
HF vapor cleaner Missing parts: Chamber Controller Step motor Temperature controller PC MFC Membrane.
FSI EXCALIBUR ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Halbleiterherstellung, die modernste Technologie verwendet, um zuverlässige, effiziente und kostengünstige Lithographiefähigkeiten zu liefern. Basierend auf fortschrittlicher Chemie und maßgeschneiderter Hardware bietet das System Hochleistungsauflösung, Wiederholbarkeit und Ausfallzeiten für Einheiten, was eine kostengünstige Geräteproduktion ermöglicht und Zykluszeiten für jeden Schritt in der Halbleiterherstellung reduziert. Der Kern der EXCALIBUR-Maschine ist eine proprietäre Photoresist-Formulierung, die eine starke Haftung, eine hohe Auflösung und einen minimalen Verlust der Musterübertragung über mehrere Aufnahmen bietet. Die Formulierung weist eine proprietäre Mischung aus Polymeren, Vernetzern, Photochemikalien und Lösungsmitteln auf, die zusammen die erforderliche Leistung liefert. Nach der Abgabe auf das Substrat gelangt der Resist in den FSI EXCALIBUR Belichtungsprozess, der einen direkten Bildmasken-Aligner und ein einzigartiges Belichtungsprogramm verwendet, um eine möglichst hohe Auflösung und Bildtreue zu gewährleisten. Das Substrat wird dann entweder im Hochwasserverfahren oder über ein statisches oder dynamisches Sprühdosierverfahren entwickelt. Neben dem Photoresist-Tool bietet die EXCALIBUR-Plattform auch eine In-situ-Instrumentensteuerung und eine schnelle und genaue Inspektion, um wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse über mehrere Aufnahmen zu liefern. Dadurch wird sichergestellt, dass die Konstruktionen unverändert bleiben und die Produktionskosten niedrig bleiben. Darüber hinaus sind die proprietären Entwicklungs- und Nassreinigungsverfahren so konzipiert, dass Pinholes und Photoresistreste vollständig eliminiert werden, um zuverlässige Ergebnisse für die Dauer eines Herstellungsprozesses zu gewährleisten. Die FSI EXCALIBUR-Plattform bietet zudem eine hochgradig konfigurierbare Schnittstelle, die eine einfache Anpassung und Kalibrierung ermöglicht. Auf diese Weise können Anwender die Funktionen des Asset schnell und präzise auf das erforderliche Substrat und den gewünschten Prozess abstimmen und so die höchste Produktivität und Kosteneffizienz gewährleisten. Zusammenfassend ist das EXCALIBUR Photoresist-Modell eine All-in-One-Lösung für die Halbleiterherstellung, die hervorragende Ergebnisse bei höchster Produktivität und Kosteneffizienz liefert. Dank maßgeschneiderter Hardware, proprietärer Fotoresist-Formulierung und ausgeklügelter In-situ-Instrumentenkontrolle und -Inspektion ist FSI EXCALIBUR in der Lage, jeden Schritt des Lithographieprozesses voranzutreiben und zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu liefern.
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