Gebraucht FSI EXCALIBUR #293818919 zu verkaufen
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FSI EXCALIBUR ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für den Einsatz in elektronischen Schaltungsherstellungsprozessen entwickelt wurde. Es besteht aus einer Photolackbelichtungsmaschine und einer Photolackverarbeitungsstation. In der Photolithographie wird eine Photolackschicht verwendet, um Schaltungsmuster von einer Maske auf einen Halbleiterwafer zu übertragen. Der Photolack ist ein lichtempfindliches Material, so daß zur Erzielung des gewünschten Ergebnisses Licht genau auf die Photolackschicht gerichtet werden muß. EXCALIBUR ist ein dafür konzipiertes System, das die genaue Belichtung liefert, die für ein hochwertiges Schaltungsmuster erforderlich ist. Es ist in der Lage, ein Bild auf eine Photolackschicht mit einer Auflösung von bis zu 2.048 Mikrometer zu projizieren. Dies ermöglicht die Herstellung von extrem winzigen Merkmalen bis in den Submikronbereich. Es verfügt über einen fortgeschrittenen direkten bildgebenden Belichtungsweg mit einem Triplettmikroskopobjektiv und Spiegeln. Dadurch wird eine kontinuierliche, homogene Belichtung der Photolackschicht erreicht, die die Integration der Photolithographie in Submikronentwürfe ermöglicht. FSI EXCALIBUR bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, einschließlich einer automatischen Ausrichteinheit, die die optimale Platzierung des Wafers auf der Belichtungsmaschine gewährleistet. Es bietet auch integriertes Tracing, Pre-Alignment, Post-Alignment und Overlay-Mapping. Dies ermöglicht eine Vorabanpassung jeder Musterschicht und eignet sich besonders für großvolumige Großprozesse. Darüber hinaus kommt EXCALIBUR Maschine mit einer Photolack-Bearbeitungsstation, die verwendet wird, um den Photolack sorgfältig zu verarbeiten, nachdem es belichtet wurde. Es bietet einen automatisierten, abstimmbaren Photoresist-Verarbeitungsalgorithmus, der die Verarbeitungszeit und -kosten senkt und gleichzeitig die Stromausbeute maximiert. Darüber hinaus verfügt die Station über integrierte Thermo- und Vakuumsteuerungssysteme sowie ein dynamisches Maskenerkennungswerkzeug, das sicherstellt, dass jede Schicht konsequent belichtet wird. FSI EXCALIBUR ist ideal für das Präzisionsschaltungsdesign und die Mehrschichtfertigung und ermöglicht die Feinabstimmung und Steuerung von Schaltungseigenschaften, um höchste Qualitätsergebnisse zu erzielen. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Fertigungsbetreiber, da es einen effizienten und zuverlässigen Photolithographie-Prozess ermöglicht, der dazu beiträgt, Zeit und Kosten zu reduzieren und Erträge zu maximieren.
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