Gebraucht FSI MERCURY MP #9189482 zu verkaufen

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FSI MERCURY MP
Verkauft
ID: 9189482
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Spray cleaning system, 6" 0106 Generation system (5) Chemicals 4-Position PFA table CE Marked 1997 vintage.
FSI MERCURY MP ist eine Photoresist-Ausrüstung, die unübertroffene High-Definition-Lithographie-Funktionen zur Erstellung von Mikroskalen- und Nanomustern auf Halbleitern, MEMS und anderen Präzisionskomponenten bietet. MERCURY MP wurde entwickelt, um Anwendern hohe Auflösung und genaue Ergebnisse zu bieten und gleichzeitig den höchsten Durchsatz und die Stabilität auf dem Markt zu bieten, was letztlich zu überlegenen Erträgen und Kosteneinsparungen führt. FSI MERCURY MP verwendet ein einzigartiges optisches Abbildungssystem, das eine spezielle maskenlose Abtasttechnologie umfasst, die ein Bild aus einer digitalen einschichtigen Maske auf einen Wafer projiziert, ohne dass eine Photomasken-Herstellung erforderlich ist. Diese maskenlose Abtasteinheit erhält aufgrund ihrer präzisen Ausrichtgenauigkeit und Reproduzierbarkeit die höchste Auflösung. Darüber hinaus nutzt MERCURY MP fortschrittliche messtechnische Funktionen vor Ort, um Muster genau zu messen und die Overlay-Genauigkeit zu steuern. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein fortschrittliches Flüssigkeitskühlwerkzeug für ein optimales Thermomanagement während des Betriebs und gewährleistet so höchste Bildstabilität und Gleichmäßigkeit auf dem Markt. FSI MERCURY MP verwendet auch einen proprietären Roboteransatz für Beschichtungs- und Strippvorgänge, um den Arbeitsablauf der Photolackverarbeitung von der Spinnbeschichtung über die Bildgebung und das Strippen mit minimalem Eingriff zu automatisieren. Die Roboterlösung hilft, den Durchsatz und die Prozesskonsistenz der Anlage zu verbessern und den Photolackverbrauch zu reduzieren. Obwohl MERCURY MP für die industrielle Produktion konzipiert ist, ermöglicht es sein ausgeklügeltes Design, es auch für Forschungs- und Entwicklungszwecke zu verwenden. Seine Fähigkeit, zwischen einer Auswahl fortgeschrittener Retikles zu wechseln, hilft ihm, komplexe Prozessanforderungen zu erfüllen, und das Modell kann erweitert und neu konfiguriert werden, um zusätzliche Werkzeuge und Reticles zu integrieren. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass FSI MERCURY MP eine leistungsfähige und effiziente Ausrüstung ist, die einzigartige Lithographie-Funktionen für anspruchsvolle Mikroskalen- und Nanomuster bietet. Das System arbeitet mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Präzision und bietet höchste Durchsatz- und Bildgleichmäßigkeit sowie fortschrittliche Roboterfunktionen, die zur Optimierung der Effizienz und zur Reduzierung des Photolackverbrauchs entwickelt wurden.
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