Gebraucht FSI SATURN OC #293592650 zu verkaufen

FSI SATURN OC ist ein wegweisendes 193 Nanometer (nm) Belichtungswerkzeug für die Trockenresistentwicklung, chemisch verstärkten Photoresist und Resistkantenprofiloptimierung. SATURN OC ermöglicht Erstausrüstungsherstellern (OEMs) Chipdesignern die Möglichkeit, die lithographische Werkzeugleistung über die theoretische Beugungsgrenze hinaus voranzubringen und gleichzeitig beispiellose Wiederholbarkeit zu bieten. FSI SATURN OC verfügt über ein integriertes 6-Zoll-Belichtungsfeld mit Belichtungsfeldgrößen von 6,5 ", 5,5", 4,5 "und benutzerdefinierten konfigurierbaren Linien-/Raummustern. Das Belichtungsfeld bietet Unterangström-Linienbreiten und wiederholbare Kanten-an-Rand-Gleichmäßigkeit sowohl für Farbstoff als auch für chemische Verstärkungsresist. SATURN OC hat Vorteile der optischen Systemleistung. Die Energiesteuerung und Homogenität der Belichtung ermöglichen Sub-Angström Linienbreiten für dichte Strukturierung. Die innovativen optischen Optimierungswerkzeuge ermöglichen eine schnelle Kantenkontrastoptimierung für CHA-Resistenzen und verbesserte Kontrast-, Tonhöhen- und Fenstermuster für Farbstoffe. FSI SATURN OC verfügt über einen In-situ-Monitor zur genauen Dosis- und Fokusüberwachung, der aktive optische Monitor garantiert aggressive Prozessbedingungen, um eine aggressive RECOnnode-Level-Overlay-Genauigkeit zu ermöglichen. Die lithographische Prozessanpassung entspricht der der bestehenden 193nm Fertigungsgewebe, und die optische Leistung ist extrem wiederholbar. Das Kammerdesign von SATURN OC minimiert auch stehende Photoresist-Welleneffekte und Ungleichmäßigkeiten. FSI SATURN OC ist ein leistungsstarkes neues Werkzeug für Chip-Design und Prozesse, die aggressive Geräteskalierung und brechen die Grenzen der Beugungslithographie. Die fortschrittlichen Funktionen des SATURN OC-Systems garantieren ultrastabile Beschichtungsverfahren und Wiederholbarkeit auf Nanometerebene bei gleichzeitig verbesserter optischer Leistung. Mit seiner hervorragenden Zuverlässigkeit des optischen Systems und den integrierten Test- und Optimierungsmöglichkeiten ist FSI SATURN OC eine ideale Wahl für OEMs und Halbleiterhersteller.