Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 2134N #9109608 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N ist ein Photoresist-Gerät zur Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen. Dieses System ist eine fortschrittliche Einheit, die integrierte Prozesssteuerung, hochauflösende und präzise Bildgebung und automatisierte Substrathandhabungslösungen bietet. FSI 2134N verwendet fortschrittliche Bildgebungstechnologie, um hochauflösende und präzise Bildgebung bereitzustellen. Dadurch kann die Photolackschicht einer Vorrichtung genau und schnell belichtet werden. Darüber hinaus umfasst die Maschine erweiterte Funktionen wie ein Laserwerkzeug, das direktes Laserschreiben verwendet, eine Belichtungssteuerung für eine genaue Gleichmäßigkeitskontrolle und ein Hochgeschwindigkeits-Akkumulationsmodell, das eine schnelle Reaktion ermöglicht. TEL 2134N verfügt zudem über eine integrierte Prozesssteuerung. Dazu gehört ein innovatives In-situ-Laserinterferometer, das eine präzise Messung kritischer Abmessungen ermöglicht. Darüber hinaus umfasst die Anlage ein automatisiertes Substrathandhabungssystem, das das Be- und Entladen von Substraten erleichtert, sowie einen vollautomatischen Aufbau- und Betriebsprozess. 2134N bietet eine hohe Genauigkeit und präzise Kontrolle der Produktion während des Herstellungsprozesses der Photoresisteinheit. Die Maschine verfügt über eine Reihe von Optionen zur Steuerung der Belichtungs- und Ätzprozesse, einschließlich verschiedener Parameter wie Dosis, Belichtungszeit, Ätzrate, Fokustiefe, Substrattemperatur und Ätzdruck. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte Prozesssteuerung eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit und Ausbeute. Zusätzlich können TOKYO ELECTRON 2134N mit einer Reihe von Optionen für die Automatisierung konfiguriert werden. Dazu gehören eine Vielzahl automatisierter Substrathandlinglösungen, eine automatisierte Kalibriereinheit sowie ein vollautomatisierter Rüst- und Betriebsprozess. Insgesamt FSI / TELEFON / bietet ELEKTRON VON TOKIO 2134N fortgeschrittene Bildaufbereitungstechnologie, integrierte Prozesssteuerung, hat Substratberührenlösungen und Präzisionskontrolle über die Produktion während des photowiderstehen Werkzeugherstellungsprozesses automatisiert. So können Anwender hochgenaue und wiederholbare Produktionsergebnisse erzielen.