Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 8221 #9119346 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 8221 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für den Einsatz in der Halbleiterchip-Produktion entwickelt wurde. Es ist ein vollautomatisches System, das sowohl die Substratvorwärmung als auch die Verarbeitung der Resistschichten bei der Herstellung von Vorrichtungen mit Dünnschichtabscheidungstechniken ermöglicht. FSI 8221 kann Substrate bis 8 Zoll Durchmesser mit einem Prozessfenster von 120 ° C bis 200 ° C verarbeiten. Es verfügt über eine einzigartige Heizmaschine, die eine einheitliche Temperaturregelung ermöglicht und für Konsistenz und Wiederholbarkeit des Prozesses sorgt. Es ist mit zwei Bestrahlungsquellen ausgestattet - einer Xenon-Blitzlampe für bis zu 2 J/cm ² und einem Argon-Laser für bis zu 400 mJ/cm ² Dosis. Das Werkzeug verfügt über eine wellenlängenwählbare Quarzoptik und einen variablen Reflektor zur Einstellung des Strahlprofils. TEL 8221 Photoresist Asset kann für die einschichtige, mehrschichtige und zweischichtige Verarbeitung verwendet werden. Es hat einen präzisen Ansatz zur Steuerung der Prozessparameter und sorgt für eine hervorragende Dispersion und Auflösung der Resistschichten. Eine Auswahl an Mehrkomponenten-Resist-Formulierungen ist verfügbar, von halbbeständigen bis zu hochbeständigen Systemen, zusammen mit allen notwendigen Einwegprodukten für eine erfolgreiche Verarbeitung. Darüber hinaus verfügt das Modell über fortschrittliche Messtechnik und Inspektionswerkzeuge wie Feldmikroskopie, Partikeldichtemessungen und elektrische Widerstandsmessungen. Diese Techniken können verwendet werden, um die Leistung der Resistschichten über ihre erwartete Lebensdauer zu bewerten, um die Prozess- und Produktkonsistenz zu gewährleisten. Um die höchsten Erträge ihrer Substrate zu garantieren, profitieren Anwender von 8221 Photoresist-Geräten von modernsten Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen. Die vollfarbige interaktive Benutzeroberfläche bietet einen einfachen und intuitiven Workflow zur Parametereinstellung, Geräteanpassung und Auswertung von Komponenten. Abschließend ist TOKYO ELECTRON 8221 ein Hochleistungs-Photoresist-System, das die höchsten Erträge für die Herstellung von Halbleiterchips garantiert. Es bietet eine integrierte Heizeinheit, eine präzise Prozesssteuerung sowie fortschrittliche Messtechnik und Inspektionswerkzeuge, um eine optimale Produktqualität zu gewährleisten.