Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360974 zu verkaufen

ID: 9360974
Wafergröße: 12"
Turntable for Zeta 300, 12".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Präzisionsätzen für die Waferbearbeitung in der Herstellung integrierter Schaltungen (IC) bereitzustellen. Dieses System basiert auf einer Strahlantriebseinheit von beabstandeten, unabhängigen Lampenkammerarrays. Die Maschine verwendet fortschrittliche patentierte Technologie wie Intelligent Auto Level (IAL), Automatic Exposure Output (AEO) und High Resolution Machine (HRS). Das IAL-Werkzeug wendet eine Messung der optischen Dichte von Photolackschichten an und kann dann die Reaktion von Layoutmustern für IC-Geräte auf die am besten geeignete Belichtungsbedingung anpassen. Die IAL bietet zuverlässige Schritt- und Wiederhollithographie sowie Anpassungen an beliebige Umgebungsbedingungen, um Stabilität bei ultrahochauflösenden Mustern zu gewährleisten, auch wenn es einige Lichtstandsunterschiede gibt. Das AEO Asset sorgt für zuverlässige Performance bei der Übertragung komplizierter Muster auf den Fotolack. Es bietet eine präzise Steuerung und Dauer der Lichtbelichtung während der Beleuchtung und überträgt es auf IC-Designs. Zur Gewährleistung der Genauigkeit berücksichtigt diese Maschine auch Faktoren wie die Menge der Lichtintensität, die Breite des Belichtungsbereichs und die Gleichmäßigkeit des Lichts entlang des Bearbeitungsbereichs. Die HRS-Funktion verbessert die Genauigkeit der Photolackverarbeitung und ermöglicht die Erstellung ultrahochauflösender Layoutmuster. Sein Design kombiniert digitale Steuerung und Signalverarbeitung, um Unregelmäßigkeiten zu korrigieren, die bei hoher Geschwindigkeit auftreten könnten, um die höchste Präzision zu erhalten. Dies stellt sicher, dass Projektionen und Muster während des Ätzens genau repliziert werden können, wodurch Qualitätsverluste vermieden werden. Das Fotoresist-Modell FSI 915597-005 wurde entwickelt, um leistungsstarke Ergebnisse mit Genauigkeitsstufen zu liefern, die den besten Industriestandards entsprechen. Seine Kombination aus Intelligent Auto Level, Automatic Exposure Output und High Resolution Equipment machen es zu einer idealen Lösung für realistische Designs und Ätzmuster in der Herstellung integrierter Schaltungen.
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