Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #293652980 zu verkaufen
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX ist eine Photolackausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses System nutzt die Prinzipien der Ionenimplantation, chemischen Ätzung und Spin Coating, um die höchste Qualität Photolackschichten auf verschiedenen Materialien zu gewährleisten. Die Einheit enthält einen präzisen Ionenimplantator, der Ionen in die Photolackschicht implantiert, um vorbestimmte Muster zu erzeugen. Das erzeugte Muster wird als Transferätzmuster bezeichnet und der Fotolack selbst wird dann verwendet, um die gewünschte Maskenschicht zu erzeugen. Diese Schutzschicht wird dann zur Erzeugung der Struktur auf mehrere Materialsubstrate geätzt. Ein Spin-Coat-Auftrag ist in der Maschine enthalten, um die gleichmäßige Verteilung des Photolacks auf die Substrate zu gewährleisten. Dieser Prozess findet in einer hochwertigen, temperaturgeregelten Umgebung statt, um höchste Präzision zu gewährleisten. FSI Antares CX bietet eine breite Palette von Werkzeuganpassungen, um alle Kundenspezifikationen zu erfüllen. Das Asset verfügt über optionale zusätzliche Geräte sowie Unterstützungskomponenten zur Erweiterung seiner Fähigkeiten. Dazu gehören zusätzliche Präzisions-Anvils, hochdichte Ionenstrahlsysteme und Elektronenstrahlsysteme, die für höchste Präzision und Kontrolle für verschiedene Anwendungen ausgelegt sind. Für einen erhöhten Durchsatz enthält das Modell automatisierte Funktionen, die die Zeit für die komplette Photolackverarbeitung reduzieren und die Gesamtgenauigkeit verbessern sollen. Das Gerät umfasst auch mehrere Betriebsarten und kann für verschiedene Aufträge und Aufgaben angepasst werden. TEL Antares CX ist ein ideales Photolacksystem für jeden Halbleiterherstellungsprozess mit konsistenten und zuverlässigen Ergebnissen sowie erhöhtem Durchsatz und verbesserter Qualität. Die Gerätekonstruktionen sind auch an individuelle Anwenderanforderungen anpassbar.
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