Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9169544 zu verkaufen

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX
ID: 9169544
Wafergröße: 8"
Cryokinetic cleaning systems, 8"
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX ist eine spezialisierte Photolithographie-Ausrüstung für das Ätzen und Mustern von mikroelektronischen Geräten. Das System kombiniert Photomaskierungstechnologie mit Photolithographie mit Subwellenlängenauflösung, um enge und komplizierte Gerätestrukturen zu schaffen. Im Kern setzt die Einheit Laser und einen Photolack ein, bei dem es sich um lichtempfindliche Materialien handelt. Bei Belichtung mit der rechten Wellenlänge des Laserlichts reagiert der Photolack und ätzt winzige Muster auf ein Substrat. Der Photolack wird ferner durch eine Schrittstufe unterstützt, eine präzise mechanische Anordnung, die es dem Substrat ermöglicht, sich in X-Y-Z-Richtung zu bewegen, um den Photolack perfekt zur Strukturierung auszurichten. FSI Antares CX ermöglicht extreme Präzision. Es hat die Fähigkeit, Subwellenlängenformen und -muster zu mustern, so klein wie 25nm, so dass es ideal für die Schaffung fortgeschrittener mikroelektronischer Strukturen ist. Der in der Maschine verwendete Laser ist auch in der Lage, Topographie-Messung, so dass es einfach, mit viel Detail zu ätzen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, eine Doppelbelichtungslithographie durchzuführen, um das Vorhandensein einer leitenden Brücke zwischen zwei Schaltungselementen zu erzeugen. TEL Antares CX ist auch mit einer Software-Komponente namens' Sortimos' ausgestattet, die den gesamten Prozess der Strahlabtastung, Photoresist-Behandlung und Musterung verarbeiten kann. Diese Software ist in der Lage, die Laserabtastrate, die Laserleistung und die Belichtungszeit automatisch zu steuern, um das genaueste, konsistente Ergebnis zu erhalten. Die Software ist auch in der Lage, dem Benutzer zu helfen, die richtigen Belichtungszeiten für eine Vielzahl von Photoresist-Typen zu bestimmen, wodurch der Workflow erheblich gestrafft wird. Alles in allem ist Antares CX ein hochentwickeltes Photolithographie-Asset, das für das Ätzen von Gerätestrukturen auf Mikroniveau entwickelt wurde. Es verwendet Laser, Photolack und präzise mechanische Verschiebung, um komplizierte Strukturen bis zu 25 nm genau zu strukturieren. Die „Sortimos“ -Software trägt dazu bei, Genauigkeit und Konsistenz während des gesamten Prozesses sicherzustellen, wodurch TOKYO ELECTRON Antares CX die optimale Wahl für die Mikrominiaturisierung und die Erstellung von Gerätestrukturen ist.
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