Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9234274 zu verkaufen
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ID: 9234274
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Cryokinetic cleaning system, 12"
Main body
System resource module
(2) Process modules
(3) Load ports
PC Unit
A-Box
FFU Cover
2005 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die eine hervorragende Leistung in lithographischen Prozessen bietet. Es ist ein unschätzbares Werkzeug für die Mikroelektronik-Industrie, die hochwertige Mikroherstellung von elektronischen Komponenten ermöglicht. Das FSI Antares CX-System besteht aus mehreren Komponenten, die zusammenarbeiten, um Photolackmaterialien für die hochauflösende Lithographie zu belichten. Herzstück der Einheit ist der LED-Mustergenerator (Light Emmitting Diode), der für die Erzeugung der hochpräzisen Muster für die Herstellung verantwortlich ist. Der LED Pattern Generator wird durch benutzerdefinierte Daten gesteuert, so dass er zahlreiche verschiedene Muster erstellen kann. Der LED-Mustergenerator ist mit der Projektionsoptik verbunden, die für die Projektion des Abbildungslichts auf die Oberfläche des Photoresistmaterials verantwortlich ist. Diese Optikbaugruppe ist so ausgelegt, dass sie das Licht gleichmäßig über die Oberfläche verteilt und auf unterschiedliche Wellenlängen einstellbar ist. Für eine optimale Ausbeute sollten die Photolackmaterialien exakt auf das Projektbild ausgerichtet werden. Um dies zu erreichen, integriert TEL Antares CX Maschine Auto-Alignment-Fähigkeit in sein Design. Dadurch kann das Werkzeug das Fotolackmaterial automatisch auf das projizierte Bild ausrichten und jedes Mal konsistente Ergebnisse liefern. Schließlich ist TOKYO ELECTRON Antares CX Asset für maximale Geschwindigkeit und Effizienz ausgelegt, so dass die Projektionsoptik schnell über das Photolackmaterial scannen kann, um die Musterherstellung zu beschleunigen. Dies wird durch ein Hochleistungs-Reinraummodell erreicht, das die Menge an luftgetragenen Partikeln reduziert, was die Qualität der Lithographieergebnisse verbessert. Abschließend ist Antares CX eine komplette Photoresist-Ausrüstung, die eine überlegene Herstellung elektronischer Komponenten ermöglicht. Es bietet eine dynamische Steuerung der bildgebenden Licht, Auto-Alignment-Fähigkeit und eine hohe Kapazität Reinraumsystem für maximale Effizienz.
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