Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399693 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares Photoresist ist eine innovative Lösung für das Photolithographie-Verfahren bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System verwendet ein patentiertes zweischichtiges „Elefantenhaut“ -Verfahren zur Strukturierung von Photolackschichten auf Halbleiterscheiben. Die obere Resistschicht wirkt als Maske gegen den Photolack, um gewünschte Merkmale auf der Oberfläche zu strukturieren, während die untere Resistschicht eine weitere Behandlung zur Erzeugung gewünschter Muster und Merkmale bereitstellt. FSI Antares Photoresist-Einheit verwendet eine Markentechnologie E-Strahl mit zwei Laserquellen, um die gewünschte Strukturierung ohne Brennen der Photoresist-Schicht zu erreichen. Die beiden Laserquellen - eine parallel und eine senkrecht - erzeugen ein Muster von Löchern und Spitzen auf der Photolackschicht, um das gewünschte Muster zu bilden. Die einzigartige E-Strahlmaschine von TEL Antares ermöglicht eine wesentlich höhere Genauigkeit der Musterauflösung als andere Photolacksysteme, da die Löcher präzise über die Spitzen gelegt werden können, ohne dass das Muster entlüftet oder ungleichmäßig ist. Neben der E-Strahl-Technologie nutzt das Antares-Tool auch eine Hochvakuum-Umgebung, um eine Oxidation der Photolackschicht zu verhindern. Dies hilft, Korrosion durch die intensive Lichteinwirkung zu verhindern und bewahrt auch die kristalline Struktur des Photolacks. TOKYO ELECTRON Antares Asset ist auch beständig gegen lichtempfindliche Verunreinigungen, was ein häufiges Problem in der Photolithographie ist. Um die Qualität der Muster zu gewährleisten, verfügt das Modell über eine automatisierte Überwachungseinrichtung, um Partikel zu identifizieren, die die Photolackschicht verunreinigen können. Schließlich ist FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares Photoresist-System sehr kostengünstig, da es Ausrüstung und Kostenaufwand sowie mühsame manuelle Prozesse im Zusammenhang mit der Herstellung und Prüfung reduziert. Dies macht das Gerät besonders attraktiv für Halbleiterunternehmen, die Kosten senken und gleichzeitig ihre Produktqualität verbessern möchten. Insgesamt ist FSI Antares Photoresist Machine eine fortschrittliche Lösung, die bedeutende Vorteile für diejenigen in der Halbleiterindustrie bietet. Die überlegene Mustergenauigkeit, die Hochvakuumumgebung, das Antikontaminationsmerkmal und die Kosteneffizienz bieten eine zuverlässige und qualitativ hochwertige Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor