Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP #9233650 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die von FSI International, TEL und Lam Research entwickelt wurde. Es ist eine automatisierte Prozesslösung, die hervorragende Filmablageergebnisse, einen geringen Platzbedarf und maximale Flexibilität bietet. Das System verwendet eine geregelte Salpetersäure-Dampfabgabeeinheit, um Photoresistmaterial auf den Wafer zu sprühen. Der Wafer wird dann belichtet und zu einer ultravioletten Lichtquelle verarbeitet. Die Maschine ist mit einem „doppelten“ Kammerlayout ausgelegt, d.h. das Werkzeug verwendet zwei Vakuumkammern. Die vordere Kammer hält ein großes Volumen an Vakuumdruck und wird verwendet, um das Photolackmaterial in optimalem Zustand zu halten, bevor es auf den Wafern dispergiert wird. Diese Kammer dient auch zur Vorbehandlung der Wafer vor der Belichtung. Die hintere Kammer dient zur Belichtung mit der ultravioletten Lichtquelle. Diese Kammer ist auch mit mehreren Patronen ausgestattet, so dass mehrere Wafer gleichzeitig bearbeitet werden können. Das Saturn MP Asset ist in der Lage, hervorragende Dickengleichmäßigkeit, Flexibilität und schnelle Reaktionszeiten zu bieten. Es ist auch mit mehreren Prozesssteuerungen für On-the-Fly-Einstellungen ausgestattet. Die beheizte Kammer ist bis zu 650 ° C temperaturfähig und das Modell kann mit einer Plasmaätzkammer für zusätzliche Prozessflexibilität ausgestattet werden. Das integrierte Werkzeug soll die gesamte Bearbeitungszeit reduzieren - bis zu 70%. Die extrem geringe Dämpfung ermöglicht eine dynamische Prozesseinstellung mit minimaler Vibration und minimaler Störung. Seine Monitor-/Alarmausrüstung bietet Echtzeit-Berichterstattung über Systemzustand und Leistung. Die Saturn MP-Einheit verfügt auch über erweiterte optionale Funktionen wie einen integrierten Mehrfachlader oder Roboterarm oder eine bordeigene Gasliefer- und -rückgewinnungsmaschine. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Rezept-Tool die Flexibilität der Speicherung von bis zu fünfzehn verschiedenen Prozessrezepten, auf die mit einem einfachen Knopfdruck zugegriffen werden kann. FSI Carts for Saturn MP asset ist eine intelligente automatisierte Prozesslösung, die hervorragende Filmeinlageergebnisse, geringen Platzbedarf und maximale Flexibilität bietet. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug für jeden Fotoresist Designer.