Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR #9137323 zu verkaufen
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON EXCALIBUR ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um hochpräzise Bilder mit einer Auflösung von bis zu 100 nm zu erzeugen. Es ist in der Lage, schnelle, hochauflösende Bilder im digitalen und analogen Format zu produzieren. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten: einer Belichtungseinheit, einer motorisierten Stufe, einer Kammer und einer Photolackeinheit. Die Belichtungsmaschine umfasst eine Beleuchtungsquelle zum Lenken von gebeugtem Licht auf das Substrat, Dithermotoren zum Erzeugen einer gleichmäßigen Beleuchtung, Blenden zum Steuern der Lichtintensität und optische Linsen zum Fokussieren des Strahls. Die motorisierte Stufe ist dafür verantwortlich, das Substrat um die Kammer zu bewegen, um belichtete Bereiche zu lokalisieren. Die Kammer dient dazu, das Vakuum zu erzeugen, das eine hohe Genauigkeit bei der Bearbeitung des Substrats ermöglicht. Die Photolackeinheit liefert die korrekte chemische Zusammensetzung der beim Aufbringen der verschiedenen Schichten der Bilder verwendeten Photolacke. Das Werkzeug arbeitet, indem es das Substrat auf die motorisierte Bühne legt und das Substrat unter der Beleuchtungsquelle zu den verschiedenen Punkten auf dem Chip bewegt, die freigelegt werden müssen. Durch Steuerung der Belichtungsquelle wird der Bildbereich beleuchtet und die Chemikalien im Fotolack aktiviert. Das Substrat wird dann zum nächsten Punkt bewegt und der gleiche Vorgang wiederholt. Die Chemikalien im Photoresist reagieren auf das Licht der Belichtungsquelle und erzeugen eine Schicht auf dem Substrat, die später zum Bild wird. Nach Beendigung des Verfahrens wird das Substrat dann zur Entwicklung in die Kammer bewegt, die die Maschinen zum Spinnen und Spülen des Substrats mit den erforderlichen Chemikalien umfasst. Dies hilft, den überschüssigen Fotolack wegzuwaschen und hinterlässt ein sauberes und hochauflösendes Bild. FSI EXCALIBUR asset eignet sich für den Einsatz in den fortschrittlichen Photolithographie-Prozessen zur Erzeugung von hochpräzisen und qualitativ hochwertigen Bildern in digitalen und analogen Formaten. Es nutzt die fortschrittlichen motorischen Bühnenfähigkeiten, um die Genauigkeit der Bilder zu maximieren und stellt sicher, dass der Ausgang von höchster Qualität ist. Es ist auch in der Lage, Substrate schnell zu verarbeiten, so dass große Mengen in kurzer Zeit produziert werden können. Das Modell wurde entwickelt, um Anwendern eine zuverlässige und leistungsfähige Photolacklösung zu bieten.
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