Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #187971 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52 ist eine Photoresist-Prozesssteuerungseinrichtung, die für den Einsatz in der Halbleiterwafer-Photolithographie entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, das Reflexionsvermögen und andere Resisteigenschaften der Resistfolie genau zu messen, um sicherzustellen, dass das Resistmuster in weiteren Stufen des Mikrofabrikationsprozesses genau reproduziert werden kann. Es ist eine automatisierte Einheit, die in der Lage ist, die Waferreflektivität und andere Resisteigenschaften in Echtzeit zu überwachen, was Wiederholbarkeit und Präzision über Prozesse hinweg ermöglicht. Die Maschine besteht aus einem 10X Mikroskop, ausgestattet mit einem Fokus-Schrittmechanismus, Galvo Stage und sensorischem Wafer. Das Mikroskop dient zur Messung der optischen Reflektivität des Resistfilms, wodurch das Werkzeug Unregelmäßigkeiten erkennen und kompensieren kann. Die Galvo-Bühne ermöglicht es, mehrere Punkte auf dem Wafer zu messen und bietet einen unvoreingenommenen Ansatz, um den besten Mittelpunkt des Musters zu finden. Der sensorische Wafer ist mit einer Antireflexbeschichtung bedeckt, so dass die Ergebnisse möglichst präzise sind. Das Asset enthält ein Datenerfassungsmodell, das für die Speicherung, Analyse und Berichterstattung der während des Prozesses gesammelten Daten konzipiert ist. Dadurch kann das Gerät die Ergebnisse jedes Prozesses mit den vorgegebenen Werten vergleichen und den Prozess je nach Bedarf zur weiteren Optimierung anpassen. Dieses System ermöglicht auch die Automatisierung von Prozessanpassungen, so dass sich das Gerät schnell an eine Vielzahl von Prozessbedingungen anpassen kann. Darüber hinaus ermöglicht der Computer Fernzugriff und ermöglicht Ferndiagnosen und Fehlerbehebung. Darüber hinaus verfügt das FSI HELIOS 52-Tool über eine erweiterte Softwareschnittstelle. Diese Schnittstelle ermöglicht die einfache Einrichtung und Steuerung der Photolithographie-Prozesse, was sonst eine komplexe Aufgabe sein kann. Die Software enthält auch eine grafische Benutzeroberfläche, die es dem Benutzer ermöglicht, sowohl den Prozess als auch die Ergebnisse visuell anzuzeigen. Dies erleichtert es Benutzern, den Fortschritt zu überwachen und Probleme schnell und genau zu identifizieren. Insgesamt ist TEL HELIOS 52 Photoresist Asset ein fortschrittliches Prozesssteuerungsmodell, das in der Lage ist, Resisteigenschaften schnell und präzise zu messen. Seine fortschrittliche Software-Schnittstelle bietet eine einfache Einrichtung und Steuerung des Photolithographie-Prozesses, um sicherzustellen, dass die Ergebnisse präzise und wiederholbar sind. Mit seinen Datenerfassungs- und Remote-Zugriffsfunktionen ermöglicht es, Anpassungen vorzunehmen und den Fortschritt des Prozesses schnell und genau zu überwachen.