Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #192650 zu verkaufen

FSI MERCURY MP ist eine leistungsstarke digitale Photolackausrüstung, die für zuverlässige, wiederholbare Leistung in Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Das System verfügt über eine bewährte hochauflösende optische Bildgebungsquelle in Kombination mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen zur präzisen Mikrostrukturierung. Es eignet sich gut für ultrafeine Linienanwendungen in der Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Die Auflösung des Geräts ist ein Tausendstel Mikron oder besser und es kann mehrere Schichten mit Präzisions-Liner Abstand von fünf oder mehr Mikrometer für überlegene Bildqualität behandeln. Es verfügt über eine fortschrittliche, hochauflösende optische Bildgebungsquelle mit FSI-proprietärer Universal Pattern Generator (UPG) -Technologie und patentierten Prozesssteuerungsalgorithmen. Die integrierte Maschine führt die Ausrichtung und Musterung des Fokus-Ionenstrahls (FIB) durch, wodurch Benutzer einheitliche Linienbreiten und -abstände auf mehreren Schichten erzielen können. Das Tool verfügt auch über optimierte, integrierte Prozessrezepte, um optimale Ergebnisse über alle Arten von Substraten zu liefern. Es verfügt über integrierte, hochspezifische Optik, die die Strukturierung von Geräten bei hohen Seitenverhältnissen und Funktionen ermöglicht, die kleiner als die Abbildungswellenlänge sind. Diese Anlage bietet auch mehrere Spülmöglichkeiten, Antireflexbeschichtungen und eine Reihe von Abschirmmaterialien, die für spezifische Prozessanforderungen geeignet sind. MERCURY MP wurde entwickelt, um die Ausbeute zu maximieren und die Zykluszeit zu minimieren. Das Modell wird auf dem höchsten Qualitätsstandard entwickelt und gepflegt, mit integrierten Sensoren und Datenerfassungstools, um sicherzustellen, dass alle Vorfälle und Betriebsparameter verfolgt werden. Es enthält auch eine Vielzahl von On-Board-Prozess Rezepte. Das Gerät bietet eine umfassende Software-Suite zur Prozessüberwachung und -steuerung, die mit jeder neuen Version aktualisiert wird, um die Kompatibilität mit den neuesten Technologien zu gewährleisten. Das wird mit der fortgeschrittenen Hardwareüberwachung, dem Feedbacksystem und den intelligenten schrittweisen Prozessoptimierungsalgorithmen verbunden, um Qualitätskontrolle und Wiederholbarkeit zu maximieren. Insgesamt bietet FSI MERCURY MP eine umfassende, anspruchsvolle Lösung für hochpräzise Photoresist-Anwendungen. Es wurde entwickelt, um zuverlässige, wiederholbare Leistung in Produktionsumgebungen zu liefern und gleichzeitig den Ertrag zu maximieren und die Markteinführungszeit zu reduzieren.