Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293622268 zu verkaufen

FSI MERCURY MP Photoresist Equipment ist eine Produktionsmaschine von Ferro-Software Instruments (FSI). Das System wurde entwickelt, um hochpräzise geometrische Strukturen mit sehr engen Toleranzen auf Nanometerebene herzustellen. Es ist in der Lage, Merkmale mit einer Größe von 5nm bis 150 μ m zu produzieren, je nach gewünschter Anwendung. Die Maschine wird mit einer Standard-Resistverarbeitungskammer geliefert, die es ermöglicht, den Resist mit dem gewünschten Muster zu spinnen, bevor er dem Photolack ausgesetzt wird. Die Resist-Belichtungskammer ist mit zwei Laserdiodenarrays und einer beweglichen Apertur ausgestattet, um eine präzise Belichtung des Resists mittels einer Belichtungseinheit mit variabler Blende zu ermöglichen. Der Belichtungsprozess sorgt für eine gleichmäßige Belichtung des belichteten Resists und liefert damit konsistente Ergebnisse. Nach der Belichtung wird der Resist in der Aushärtungskammer der Maschine ausgehärtet. Das Härtungsverfahren ist wesentlich, um sicherzustellen, dass der Resist seine strukturelle Integrität und Haftung auf dem Substrat beibehält. MERCURY MP Maschine verfügt über eine integrierte spezielle Heizeinheit für den Aushärtungsprozess, um eine gleichmäßige Belichtung im gesamten Resist zu gewährleisten. Die Vorrichtung weist außerdem eine automatisierte Resistentnahme- und Spülstation auf. Nach Entfernen des belichteten Resists wird der Resist mit einer Kombination von entionisiertem Wasser und einem Resistentferner gespült, um saubere und rückstandsfreie Oberflächen auf dem Substrat zu gewährleisten. Die automatisierte Spülstation verfügt auch über ein Inline-Vakuumwerkzeug zum Ausziehen von Restchemikalien. Schließlich kommt FSI MERCURY MP mit einem Standard-Rasterelektronenmikroskop (SEM), um eine visuelle Inspektion des gemusterten Substrats zu ermöglichen. Dieses zusätzliche Werkzeug ist nützlich, um die Qualität des Substrats zu bewerten, um sicherzustellen, dass es keine Fehler gibt, bevor mit der nächsten Stufe des Prozesses fortgesetzt wird. Insgesamt ist MERCURY MP eine hochpräzise Photolackanlage im Produktionsmaßstab, die hochpräzise geometrische Strukturen auf Nanometerebene erzeugen kann. Es wurde entwickelt, um enge Toleranzen beizubehalten und konsistente Ergebnisse mit minimalen Defekten zu erzielen.