Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9207075 zu verkaufen
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System besteht aus einer Hauptprozessoreinheit, einem digitalen Steuerungssubsystem und einem Flüssigkeits- und Gashandlingarm. Die Hauptprozessoreinheit verfügt über eine integrierte Software und bietet Anwendern Flexibilität bei der Steuerung ihrer Photolackprozesse. Es bietet eine breite Palette von Photoresist-Prozessen, wie Strukturierung, Kontaktresistent-Entwicklung und Ätzen, so dass hochgenaue und zuverlässige Halbleiterbauelemente hergestellt werden können. Das digitale Steuerungssubsystem verfügt über einen VME-Bus und eine grafische Benutzeroberfläche zur Verwaltung der Einheit. Es ist mit einer schnellen Erfassungseinheit, einer Antriebsmaschine und Echtzeit-Steuerungsfunktionen konfiguriert. Die Flexibilität des Steuerungswerkzeugs ermöglicht es Benutzern, Parameter anzupassen und den Prozess in Echtzeit zu überwachen. Der Flüssigkeits- und Gashandhabungsarm ist für die Abgabe der Photolacklösung an die Oberfläche des Halbleiterbauelements verantwortlich. Es ist mit einer Hochleistungsdüse ausgestattet, um den Fotolack genau über die Geräteoberfläche zu verteilen. Das Düsenmodell weist eine unterschiedliche Druckgradientendüse auf, die eine intelligente Verteilung des Fotolacks ermöglicht. Zusätzlich ist die Düse mit einem Arc Kit zur Ausrichtung der Düse auf die Oberfläche der Vorrichtung ausgestattet. FSI Mercury MP ist für sicheren und effizienten Betrieb und Wartung konzipiert. Es ist mit einem Schalterschutz ausgestattet, der ein versehentliches Einschalten oder Ausschalten des Geräts verhindert. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es automatisch abgeschaltet wird, wenn ein anormaler Zustand festgestellt wird. Das Gerät arbeitet bei geringem Stromverbrauch und ist für den staubarmen Betrieb ausgelegt. TEL Mercury MP ist für den Einsatz bei der Herstellung hochpräziser Halbleiterbauelemente mit ausgezeichneten Ausbeuten konzipiert. Es verfügt über ein flexibles digitales Steuerungssubsystem und einen effizienten Flüssigkeits- und Gas-Handlingarm, so dass die Maschine in einer Vielzahl von Produktionsprozessen eingesetzt werden kann. Der geringe Stromverbrauch und der staubarme Betrieb machen es zu einer attraktiven Option für die Halbleiterindustrie.
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