Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9274762 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP ist eine „Photoresist“ -Ausrüstung, die eine ultrafeine Strukturierung von Geräten mit Abmessungen von weniger als 100 nm ermöglicht. FSI Mercury MP kann diese Präzisionsmusterung auf verschiedene Weise durchführen, einschließlich Elektronenstrahllithographie, Röntgenlithographie, Ionenstrahllithographie, direkte Laserlithographie und Nanoabdrucklithographie. Das System verwendet eine G-line 248nm und eine I-line 365nm ultrafeine Photolithographie-Linse, um eine hohe Auflösung mit einer maximalen Linienbreite von 13,5 nm zu bieten. Zusätzlich wird eine digitale Strahlintensitätssteuereinheit zur präzisen Steuerung der Elektronenstrahlen für eine hohe Genauigkeitsmusterung und verbesserte Überlagerungsgenauigkeit bei der Produktion eingesetzt. Für die Bildoptimierung verfügt TEL Mercury MP über eine ausgeklügelte Doppel-Punkt-Bildgebungstechnologie, die die Verwendung von zwei verschiedenen Bildern im gleichen Muster ermöglicht. Um einen hohen Durchsatz zu gewährleisten, verfügt TOKYO ELECTRON Mercury MP über eine erweiterte integrierte Verwaltung von Bildern, Parametern und Maskendaten. Auf diese Weise können Techniker nahtlos im Produktionsbereich auf diese Informationen zugreifen. Die Maschine ermöglicht die Steuerung der Prozessbedingungen zur präzisen Steuerung des Lithographieprozesses. Dazu gehören Temperatur, Feuchtigkeit, Partikelsteuerung und Luftreinheit, die maschinell einstellbar und in Echtzeit überwacht werden können. Neben seiner präzisen Musterfähigkeit bietet Mercury MP durch seinen vollautomatischen Herstellungsprozess auch eine einwandfreie Geräteintegration. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung von Lithographie-, Ätz-, Beladungs- und Maskierprozessen, um eine hochgradige und präzise Geräteproduktion zu ermöglichen. Des Weiteren wird die Prozesssteuerung durch eine an Bord befindliche erweiterte Steuereinheit unterstützt, wodurch die Produktion fliegend eingestellt werden kann. Letztlich ist FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP Tool entwickelt, um die Produktion von ultrafeinen Gerätegrößen mit der höchsten Auflösung und Genauigkeit zu ermöglichen, so dass Techniker die Geräte, die ihre Kunden suchen, auf zuverlässige, konsistente und effiziente Weise erstellen können. Diese photolithographische Anlage ist ein unschätzbares Werkzeug für die Herstellung von hochmodernen Geräten.