Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281852 zu verkaufen

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
Verkauft
ID: 9281852
Spray cleaning system.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP Photoresist Equipment ist ein leistungsstarker und vielseitiger Masken-Aligner, der entwickelt wurde, um höchsten photolithographischen Anforderungen gerecht zu werden. FSI Mercury MP enthält eine breite Palette von Funktionen, einschließlich eines Mechanismus für die Handhabung von Materialien in Streifenform, eine Plattform zur Unterstützung von zwei Substraten, automatische Fokussierung und Dickenkontrolle, eine energiesparende Trockenlichtquelle, hochgenaues Scannen und automatische Nachbearbeitungsfunktionen. TEL Mercury MP ist mit einem originalen „High Accurate Protrusion Sensor“ ausgestattet, der eine hohe Genauigkeit und schnelle Messung erzielt. Als Lichtquelle wird ein He-Cd-Laser mit einer Wellenlänge von 436 nm verwendet. Die trockene Lichtquelle ermöglicht eine hohe Leistungsabgabe und einen geringen Energieverbrauch und unterstützt eine schnelle und genaue Ausrichtung für Photolithographie-Prozesse. TOKYO ELECTRON Mercury MP unterstützt auch ein- oder zweistufige Prozesse der Photolithographie mit der Bandform Materialhandhabung. Quecksilber MP enthält eine Plattform, die zwei Substrate unterstützen kann, die eine gleichzeitige Ausrichtung und Durchdringungsmessung ermöglicht. Der verwendete Scanner ist ein linearer Wechselstrom-Servomotor mit hoher Genauigkeit, der eine wiederholbare Auflösung von 0,5 µm ermöglicht. Die Oberflächenabtastgenauigkeit beträgt ebenfalls 0,1 µm, die Präzisionsausrichtung für die Punktform ebenfalls 0,2 µm. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP hat auch automatisierte Verarbeitung wie Kantenfärbung, Scannen und Konzentrationsanpassung. Der Rahmen des Maskenausrichters ist entworfen, um eine einfache Bedienung zu gewährleisten, und der Basisrahmen ist entworfen, um Vibrationen zu verhindern. Darüber hinaus unterstützt FSI Mercury MP die Integration anderer Teilsysteme und ermöglicht so den Einsatz in vollautomatisierten Photolithographieanwendungen. TEL Mercury MP ist ein benutzerfreundliches und fortschrittliches System, das eine breite Palette von Anwendungen erfüllt. Es ist für den Einsatz in verschiedenen Branchen wie Flachbildschirm, Solarzelle, MEMS und IC Gießerei optimiert. Dieses Gerät ist speziell für hohe Produktivität und gleichbleibende Leistung ausgelegt. Die Maschine ist mit einer komfortablen Benutzeroberfläche, leistungsstarken integrierten Messfunktionen und zusätzlichen Datenverarbeitungsfunktionen ausgestattet, um das Benutzererlebnis zu verbessern. Darüber hinaus wurde TOKYO ELECTRON Mercury MP entwickelt, um Umweltvorschriften zu erfüllen und Photokontamination und statische Stromerzeugung zu minimieren. Dieses Tool bietet zuverlässige Messungen und schnelle und präzise Ausrichtung, was es zu einem idealen Vorteil für die Photolithographie macht.
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