Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9030479 zu verkaufen
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ID: 9030479
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Metal etch system, 8"
De-installed
1996 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um UV und sichtbares Licht auf Halbleitern und anderen Materialien mit hoher Präzision genau zu belichten. Es verfügt über ein hochzuverlässiges ultraviolettes Belichtungssystem mit ausgezeichneter Konsistenz, das für verschiedene Substrate verwendet werden kann. Es hat auch Laserausrichtungsfunktionen, zusätzlich zu einer beweglichen Bühne für genaue Strukturierung und Intensivierung/Streuung. FSI Mercury verwendet High Precision Spin Coater, der eine präzise und gleichmäßige Beschichtung von Photoresists auf dem Substrat ermöglicht. Diese Einheit verfügt über besondere Merkmale, wie z.B. einen Regler zur variablen Drehzahl- und Temperaturregelung - beispielsweise für die Substratheizung vor dem Spinnen. Die Waferstufe gepaart mit dem Spin Coater hat eine Kapazität für 200mm Wafer. Die DUV (Deep Ultraviolet) -Lichtquelle von TEL Mercury wurde speziell entwickelt, um eine hohe Belichtungsgenauigkeit zu erreichen und bietet eine breite Palette von Funktionen, einschließlich einer optischen Dichteanpassungsmaschine für eine gleichmäßige Belichtung. Sein Positionierwerkzeug sorgt dafür, dass die Belichtungsziele für die effektivsten Ergebnisse genau ausgerichtet sind. Quecksilbers Lichtquelle hat auch eine Verschlussfunktion, die das Übersprechen zwischen den Belichtungssystemen verringern soll. Zusammen mit dem CCD-Bildsensor an der Unterseite des Assets sorgt dies dafür, dass eine klare und wiederholbare Belichtung erreicht wird. Der 3-Achsen-Regler und die automatische Nivelliertabelle bieten zudem eine stabile Belichtungsgrundlage ohne Wackeligkeit. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON Mercury über ein empfindliches und präzises Kontrollmodell für die Abtastung und Strukturierung. Es ermöglicht eine schnelle Musterung in Größe und Form, wodurch eine effiziente und genaue Herstellung von On-Chip-Mustern ermöglicht wird. Insgesamt ist FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury eine wertvolle und effektive Photoresist-Ausrüstung für Photolithographie- und Scanprozesse. Es ermöglicht eine präzise und zuverlässige Musterbelichtung mit überlegener Steuerung und einer Vielzahl von Funktionen. Dieses System ist ein zuverlässiges Werkzeug für die Lieferung von qualitativ hochwertigen Ergebnissen und ist ideal für die Herstellung von Halbleitern und Photomasken.
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