Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9093020 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Herstellung von integrierten Schaltungskomponenten auf Halbleiterscheiben. Das System besteht aus drei Teilen: einer Beleuchtungseinheit, einer Entwicklungsmaschine und einem Fotolackwerkzeug. Die Beleuchtungseinrichtung verwendet eine Excimer-Laserlichtquelle, um das Schaltungsmuster auf dem Wafer zu belichten. Dieses Muster wird dann durch Steuerung der Belichtungsparameter wie Wellenlänge, Pulsbreite, Ätzmuster und Belichtungsdosis auf den Photolack übertragen, der ein für Licht sensibilisierbares Material ist. Das Entwicklungsmodell verwendet eine Gleisausrüstung, um eine kostengünstige Lösung für die Erstellung von hochauflösenden Schaltungsmustern zu liefern. Das Photolacksystem enthält Lösungen zur Entwicklung des belichteten Schaltungsmusters und zur Steuerung des Ätzprozesses. Dabei werden verschiedene Lösungen wie Schleuder- und Spritzbeschichtungsverfahren eingesetzt. Spin-coat verwendet ein rotierendes Substrat, um eine gleichmäßige und gleichmäßige Schicht des Photolacks auf der Oberfläche des Wafers abzuscheiden, während Sprühschicht die Reaktion einer organischen Lösung auf dem Wafer verwendet, um die Photolackschicht zu entwickeln. Diese Photolackeinheit verwendet Lösungsmittel, um den Ätzprozess zu steuern und das gewünschte Schaltungsmuster zu erhalten. Häufig verwendete Lösungsmittel sind Dimethylsulfoxid (DMSO) und Terpineol-I-ol (T-I-O). Diese Lösungsmittel sind dafür verantwortlich, die chemischen Bindungen auf der Oberfläche des Wafers abzubauen und so die Haftung der Photoresistschicht an dem Muster zu unterstützen. Schließlich nutzt FSI Mercury seine Spacer-Technologie, um Isolationsschichten zu bilden, die dünne spaltfüllende Poren sind, die zur Definition der Grenze der Transistorschaltungen verwendet werden. Die Spacerschicht trägt dazu bei, die Ausbeute und Leistungsfähigkeit der Transistoren durch eine elektrisch isolierte Umgebung zu erhöhen. Abschließend ist TEL Mercury eine Photolackmaschine, die eine effiziente und zuverlässige Lösung für die Herstellung integrierter Schaltungen auf Wafern bietet. Es nutzt die Lichtquelle, Entwicklungswerkzeug und Photoresist Asset zusammen mit verschiedenen Lösungsmitteln, um ein komplettes Photoresist Fertigungsmodell zu bilden.