Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9116685 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die von der FSI Corporation entwickelt wurde. Es ist entworfen, um die Herstellung von großen, hochkomplexen integrierten Schaltungen mit höchster Geschwindigkeit und Genauigkeit zu handhaben. Das System kombiniert fortschrittliche Lithographie-, Abscheide-, Ätz- und Messtechnikprozesse gepaart mit einer Vielzahl von Substraten und Beschichtungsmaterialien. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von hochdichten Halbleitern, die in den technologisch fortschrittlichsten Geräten von heute verwendet werden. FSI Mercury kombiniert eine flexible Werkzeugplattform, die sich an wechselnde Schaltungsentwürfe anpasst, Skalierbarkeit und Vorhersehbarkeit der Leistung bietet. Es verfügt über eine fortschrittliche, multifunktionale Lithographieeinheit, die Muster ab dem Zeitpunkt, an dem die Bilder in die Maschine eingegeben werden, genau verarbeitet. Das Werkzeug wurde entwickelt, um Funktionsgrößen von 0,25 Mikron oder weniger mit einer Genauigkeit von +/- 3nm zu produzieren. Diese erhöhte Genauigkeit ermöglicht die Herstellung von glatteren, kleineren Eigenschaften. Der Abscheidungsteil des Verfahrens in TEL Mercury bietet eine breite Palette von Materialien, darunter Metalle wie Aluminium, Kupfer, Kobalt, Titandioxid und diamantähnlicher Kohlenstoff (DLC). Es umfasst auch konforme Abscheidungssysteme, die die Abscheidung hochgleichmäßiger und konformer dünner Folien ohne erforderliche Gleichmäßigkeitskorrekturen ermöglichen. Dies bietet eine höhere Genauigkeit beim Erzeugen von 3D-Strukturen. Der Ätzprozess nutzt induktiv gekoppelte Plasma (ICP) -Technologien, um eine hohe Selektivität und Konformität zu schaffen. Dies ermöglicht die Herstellung einer Vielzahl von Merkmalen und Strukturen mit minimaler Verzerrung. Es unterstützt auch fortschrittliche Timing-Technologien, die eine enge Kontrolle über den Prozess bieten und eine zuverlässige Produktion ermöglichen. Schließlich ermöglicht das Messtechnikverfahren in Mercury eine präzise Messung sowohl von Teilen als auch von Folien. Es umfasst ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (SEM), ein Nahfeldrastermikroskop (NSOM), ein Atomkraftmikroskop (AFM) und eine Vielzahl weiterer Werkzeuge. All dies soll ein präzises Feedback zu den Funktionen und der Leistung der Geräte geben. Abschließend ist TOKYO ELECTRON Mercury ein fortschrittliches Photoresist-Asset, das hohe Leistung, Skalierbarkeit und Vorhersagbarkeit bietet. Es kombiniert eine breite Palette fortschrittlicher Lithographie-, Abscheide-, Ätz- und Messtechnikprozesse sowie ein hohes Maß an Programmierbarkeit, um Ingenieuren ein leistungsfähiges Werkzeug zur Herstellung komplexer integrierter Schaltungen zur Verfügung zu stellen.