Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9137915 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY ist eine Photolackanlage, die im Photolithographieverfahren zur Herstellung von Halbleiterchips eingesetzt wird. Es verwendet tiefe ultraviolette (DUV) Resists, die für den Einsatz mit photolithographischen Steppern konzipiert sind. Dieses System besteht aus einer geschlossenen Verarbeitungseinheit mit einer automatisierten Maschinensteuerung, einem transparenten Vorratsbehälter und einem Präzisions-Spin-Coater. Der Werkzeugregler ist auf die Bedürfnisse einer Reihe von Wafergrößen und Produktionsvolumen ausgelegt und kann den Spin-Coater genau und präzise steuern. Der Controller ist mit einer integrierten Prozessdatenbank verbunden, die die Prozessvariablen für jede Anwendung optimieren kann. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine hohe Wiederholbarkeit der Ergebnisse mit einer hervorragenden Nivelliergenauigkeit und Gleichmäßigkeit auf jedem Wafer, die Ertrag und Qualität Konsistenz gewährleistet. Der Vorratsbehälter des Modells ist ein transparenter Niederdruck-Silikon-Vorratsbehälter mit einem exakt konzipierten Übertragungsvolumen, das für den automatisierten Folieneinsatz geeignet ist. Es ist leicht zu pflegen und ermöglicht die Verwendung für verschiedene Folientypen, wie Verdünnungsharz und die Verwendung von organischen Lösungsmitteln. Der Spin-Coater ist eine hochpräzise Vorrichtung zum Ausspinnen von dünnen Folien und enthält einen Silikonkuchen, der mit Hilfe des horizontalen Spinnens auf dem Wafer gleichmäßig dicke Folien ermöglicht. Zusätzlich ist der Regler mit dem Spin-Coater verbunden, so dass die genaue Einstellung von Parametern wie Geschwindigkeit, Druck und Zeit für jede Anwendung eingestellt werden kann. Die gesamte Ausrüstung wurde entwickelt, um ultraviolette (UV) Bilder für die Strukturierung verschiedener dünner Filme, Resiststoffe, Dielektrika und Metalle bereitzustellen. Es bietet eine hervorragende Leistung für ein- und zweischichtige Dielektrika, die auch eine doppelte Strukturierung und präzise Ätzauswahl ermöglicht. Dieses System umfasst auch verschiedene Arten von Beschichtungstechnologien, wie Sprühen und Spinnen-Beschichten, die für alle Arten von Substraten geeignet sind. Damit kann das Gerät für eine Vielzahl von Prozessen eingesetzt werden, von der Großproduktion bis hin zu Forschungs- und Testanwendungen. FSI Mercury ist eine hochentwickelte, automatisierte Photolackmaschine, die im Vergleich zu herkömmlichen Photolithographiesystemen eine verbesserte Leistung bietet. Es ist auf maximale Flexibilität ausgelegt und ermöglicht es Benutzern, komplexe Musterprozesse auf einem einzigen Gerät durchzuführen.