Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157620 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury ist eine vielseitige, hochpräzise Photoresist-Ausrüstung, die für Hochvolumen-Lithographieanwendungen entwickelt wurde. Es ist ein All-in-One-System, das fortschrittliche Lithographie- und Verarbeitungstechnologien kombiniert, einschließlich stereoskopischer Lithographie, Streureduktion, CD-Steuerung und Ätzen. FSI Mercury Einheit bietet hohe Auflösung und Stabilität für präzise, hochwertige Prozesse. Die Maschine verfügt über ein proprietäres Scanwerkzeug und hochauflösende Belichtungsfunktionen, die präzise und schnelle Belichtungen ermöglichen. Es verfügt auch über Turbine Computer-Aided Manufacturing (TurboCAM) Software, die schnelle Schicht-für-Schicht-Lithographie-Muster erstellt werden können. TEL Mercury bietet auch erweiterte Verarbeitungsfunktionen nach der Exposition. Dazu gehört eine mehrstufige Vortrocknung, die Verunreinigungen und von Verunreinigungen abgeleitete Mängel verhindert. Es verfügt auch über einen Hochleistungsspinner zur Optimierung von Parametern wie Drehzahl und Drehrichtung, um eine höhere Benetzungsabdeckung und eine ausgezeichnete homogene Filmdicke zu erreichen. Diese breite Palette von Verarbeitungsoptionen erhöht die Produktivität erheblich und liefert konsistente Ergebnisse. Mercury bietet zudem eine hervorragende Werkzeugleistung. Es verfügt über ein hochpräzises Autofokusmodell, das topographische Änderungen wie Änderungen der Waferform und der Oberflächenkrümmung und -höhen automatisch kompensiert. Dies gewährleistet die bestmögliche Bildgenauigkeit und Stabilität im Laufe der Zeit. Das Gerät bietet auch erweiterte Prozesskontrollfunktionen, wie die Kontrolle von Belichtungsdosen mit hoher Genauigkeit und ein CD-Gleichmäßigkeitsüberwachungssystem, um auch geringfügige Ungleichmäßigkeiten zu identifizieren. Insgesamt ist die TOKYO ELECTRON Mercury Photoresist-Einheit eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen mit hoher Lithographie, die hohe Präzision und Stabilität erfordern. Es bietet überlegene Werkzeugleistung, erweiterte Nachbelichtungsverarbeitungsfunktionen und ausgezeichnete Kontrolle über Belichtungsdosen und CD-Gleichmäßigkeit. Seine breite Palette an Verarbeitungsoptionen ermöglicht eine höhere Produktivität und konsistente Ergebnisse.