Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199857 zu verkaufen

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ID: 9199857
Wet processor, 4" (5) Chemicals: Ammonia Hydrofluoric acid Hydrochloric acid Hydrogen peroxide Sulfuric acid.
FSI MERCURY ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Herstellung von lithographischen Großmasken zur Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs). Das System ermöglicht eine hohe Genauigkeit und kostengünstige Fertigstellung des photolithographischen Prozesses. Diese Photoresist-Einheit ist mit Mikromirror-Projektionstechnologie konzipiert, um ein erhebliches Maß an Linienflexibilität und Spielkontrolle zu gewährleisten. Die programmierbare Maskenschreibmaschine produziert 150nm Funktionsgröße und kann bis zu 8K Designs speichern. Die Abmessungsgenauigkeit von Folienschichten liegt innerhalb von +/- 7,5 nm, innerhalb von +/- 0,5% maximal für 50mm-Geräte und +/- 0,2% maximal für 200mm-Durchmesser-Geräte. Es ist ein vollautomatisches Werkzeug, das ein Design in mehrere verschiedene Masken schnell und einfach konvertieren kann. Das zuverlässige MERCURY Asset ermöglicht die präzise Steuerung und Genauigkeit bei der Herstellung von lithographischen Masken für größere ICs. Es besteht aus einem Photomasken-Modell, das mit Leuchtdioden (LEDs) die Belichtungsmenge während des Photolithographie-Prozesses steuert. Das Gerät verwendet eine Kombination aus einem optischen Transmissionsgitter und einer hochreflektierenden Beschichtung, um sicherzustellen, dass die Maske genau auf das Substrat sowie auf die Konstruktionsvorgaben abgestimmt ist. FSI MERCURY System verwendet auch eine computergesteuerte Strahlschreibeinheit, um sicherzustellen, dass Kanten und Formen genau definiert sind. Die Maschine hat auch eine einzigartige Auto-Tuning-Funktion, die eine genaue Ausrichtung des Maskendesigns mit den beabsichtigten Eigenschaften der Substratschicht ermöglicht. Schließlich hat MERCURY Tool integrierte QC-Optionen, mit denen Benutzer schnell und effektiv die Integrität der fertigen Masken bestimmen können. Dies trägt dazu bei, dass nur hochwertigste Masken für die Herstellung integrierter Schaltungen hergestellt werden. Mit seiner hohen Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit ist FSI MERCURY ein wesentliches Werkzeug für die Produktion integrierter Schaltungen.
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