Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9207178 zu verkaufen

ID: 9207178
Wafergröße: 6"
PFA Turntables, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury Photoresist ist eine hochmoderne Resist-Management-Lösung von FSI, die hilft, Batch-to-Batch und modernste Photoresist-Verarbeitung und bildgebende Steuerung zu erleichtern. FSI Mercury System bietet Anwendern Vorteile wie verbesserte Gleichmäßigkeit der Belichtung, bessere Kontrolle von Musterprofilen, höhere Ausbeute und Durchsatz und verbesserte Prozesssicherheit. TEL Mercury-Einheit verwendet fortschrittliche optische Sensoren, um die Eigenschaften der verschiedenen Schichten von Photoresist und Bildstrukturen in Echtzeit zu messen und aufzuzeichnen. Diese Daten werden in einen Hochgeschwindigkeitsalgorithmus eingespeist, der die Resist-Parameter (wie Dicke, Widerstand usw.) entsprechend den Erkenntnissen anpasst. Dadurch kann der Resist auf die genauen Anforderungen des Kunden und des Prozesses zugeschnitten werden. Darüber hinaus ermöglicht die TOKYO ELECTRON Mercury-Maschine den Anwendern, die Auswirkungen jeder neuen Belichtung oder Beschichtung auf den Druckprozess zu überwachen, indem hochempfindliche Datenanalysewerkzeuge integriert werden. Auf diese Weise können Benutzer unerwartete Änderungen in der Struktur, wie Dicke und Widerstand, sowie allgemeine Druckgleichförmigkeit identifizieren. Die fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen des Mercury-Tools sorgen dafür, dass alle Chargen, auch solche mit den anspruchsvollsten Mustern, zuverlässig und präzise bearbeitet und abgebildet werden. Das Asset ist in der Lage, den Inside-Out-Druck von feinen Mustern zu steuern, einschließlich Multi-Pitch-Mustern, so dass effiziente und präzise feine Projektionen. Darüber hinaus ruft und implementiert das Modell Korrekturmaßnahmen, wenn unerwartete Schwankungen erkannt werden, um sicherzustellen, dass alle Phasen der Produktion unter Kontrolle bleiben. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury-Geräte bieten Anwendern zusätzlich Echtzeit-Ausbeute-Simulation. Diese Funktion hilft, detaillierte Status- und Prognosekorrekturen bereitzustellen, die sofort vorhergesagt und ausgeführt werden können. Dies trägt dazu bei, dass die Prozesse optimiert und beliebige Muster im gewünschten Bereich gedruckt werden. Insgesamt ist das FSI Mercury Photoresist-System ein hocheffizientes, fortschrittliches Produkt, das Anwendern Vorteile wie verbesserte Gleichmäßigkeit der Belichtung, bessere Kontrolle von Musterprofilen und verbesserte Prozesssicherheit bietet. Das Gerät ist ideal für Dünnschichtprozesse, die Herstellung elektronischer Geräte, die Produktion von Flachbildschirmen und andere fortschrittliche Photoresist-Anwendungen.
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