Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9223674 zu verkaufen

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ID: 9223674
Wafergröße: 8"
PFA Turntable, 8".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury ist eine Art Photoresist-Ausrüstung, die für die Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es ist ein hochgenaues System, das eine Vielzahl von optischen Techniken verwendet, um präzise Lithographieeffekte bei der Bildung hochauflösender Muster auf Wafern zu ermöglichen. Das Gerät wird mit modernster Technologie für die Massenproduktion entwickelt und eignet sich somit für die Herstellung wirtschaftlich tragfähiger Geräte. Die Maschine umfasst eine Vielzahl verschiedener Komponenten und Technologien. Sie umfassen einen Abtastkopf, mit dem die Laserfleckgröße auf der Oberfläche des Wafers gesteuert wird; eine Anordnung von Kurzpulslaserdioden mit individueller Leistungssteuerung und Frequenzkompensation; einen Modellsteuerrechner zum Steuern des Prozesses; und eine Vakuumkammer. Dieses Werkzeug verfügt auch über eine integrierte chemische Kammer mit einer Sauerstoff-Stickstoff-Gaszufuhr. Alle Komponenten sind durch einen dreiachsigen Bewegungsregler integriert, der es dem Modell ermöglicht, Laserstrahlen über vorgegebene Stellen auf dem Wafer genau zu platzieren. Die optischen Eigenschaften der Photoresistgeräte spielen eine wichtige Rolle bei der genauen Bildung der gewünschten Muster. Mit einer digitalen Lichtmaske wird in Verbindung mit einer Laserdiode ein Lichtstrahlmuster auf dem Wafer erzeugt, das dann mit dem Photolackmaterial belichtet wird. Anschließend wird das belichtete Material entwickelt, welches auf der Basis des Laserdiodenmusters ein geätztes Muster auf dem Wafer erzeugt. Neben den optischen Komponenten enthält das System auch eine Reihe chemisch unterstützter Ätztechniken. Diese Techniken werden formuliert, um eine Reihe von verschiedenen Optionen zum Ätzen verschiedener Arten von Materialien zur Verfügung zu stellen. Beispielsweise kann das isotrope Ätzen zum Ätzen einheitlicher oder anisotroper Merkmale verwendet werden, während das reaktive Ionen- und Plasmaätzen verwendet werden kann, um kleinere, komplexe und hochauflösende Muster zu erzeugen. FSI Mercury ist ein innovatives Fotografiewerkzeug, das der Halbleiterindustrie hilft, komplexe elektronische Komponenten zu schaffen. Es bietet eine robuste, zuverlässige und genaue Einheit, die für die Herstellung von wirtschaftlich tragfähigen Geräten geeignet ist. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, die Genauigkeit und Auflösung mit immer genaueren und anspruchsvolleren Techniken kontinuierlich zu verbessern. Dieses Photolackwerkzeug kann hochauflösende Eigenschaften in einer Vielzahl von Materialien erzeugen, was zu kürzeren Produktionszeiten und geringeren Kosten für die Halbleiterindustrie führt.
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