Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9278150 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY ist eine weltweit führende Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen (ICs) verwendet wird. Es verwertet fortgeschrittene Elektronbalkensteindruckverfahrentechnologie, um Sub-20-Nanometer-Eigenschaften darin zu schaffen, photowiderstehen Schichten für eine breite Reihe von elektronischen Anwendungen. Das System verwendet einen integrierten optisch gekoppelten Scanner und eine Einstrahlquelle mit KHz-Abtastfrequenz, um eine hochauflösende, wiederholbare und zuverlässige Lithographie-Leistung zu gewährleisten. Das Gerät basiert auf E-Beam und widersteht Technologien von FSI entwickelt, so dass es sehr zuverlässig und fortschrittlich. Das fortschrittliche Maschinendesign basiert auf einer robusten Architektur mit einer vereinfachten Werkzeugsteuerung. Der Lithographieprozess konzentriert sich auf eine funktionale Quelle und Bildressourcen. Das Quellmodell ist mit einer präzisen E-Beam-Erzeugung, Steuerung von Intensität und Dosis sowie mechanischen und programmierten Ausrichtfunktionen ausgestattet, um Pixel-perfekte Lithographie zu liefern. Darüber hinaus können die Geräte hochpräzise Maskenrandausrichtung, Strahlzentrierung und Strahlformung ohne manuellen Eingriff durchführen. Das FSI Mercury System ist mit automatisierten und programmierbaren Prozessparametern ausgestattet, die Konsistenz und wiederholbare Ergebnisse über mehrere Wafer und Chargen hinweg ermöglichen. Die robuste Gerätearchitektur wird durch den Einsatz von QC-Peripheriegeräten zur Überwachung der Prozessstabilität wie Fokuseinstellung, Strahlstrom, Ätztiefe und mehr verstärkt. Darüber hinaus nutzt die Maschine eine Vielzahl von Standardprozessmodulen und High-End-Lithographiewerkzeugen, um eine höhere Anpassungsfähigkeit für komplexe Chipstrukturen zu erreichen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, hohe Genauigkeitsanforderungen mit einer Genauigkeit von besser als 1 nm für kritische Merkmalsgrößen zu erfüllen. Es enthält einen atmosphärischen Scanner, der einen Neigungswinkel von 0,05 Grad für gleichmäßig verteilte Lichtprofile und hochwertige Bilder erzeugen und ausrichten kann. Die Anlage kann auch die Vorteile der integrierten Temperatur- und Feuchtigkeitsregler nutzen, um die Stabilität zu verbessern und Überlagerungsfehler im Laufe der Zeit zu reduzieren. Das Modell TEL Mercury entspricht auch den Industriestandards und wird von einer Vielzahl von Prozessmodulen unterstützt, die von der einschichtigen Resistherstellung bis hin zu mehrstufigen Metallisierungsschichten reichen. Darüber hinaus können die Geräte in eine Reihe von Automatisierungslösungen integriert und Inline-Prozessüberwachungs- und Rückverfolgbarkeitsgeräte wie kamerabasierte Fehlerinspektionssysteme, Überprüfungssysteme und automatisierte Be- und Entladesysteme integriert werden. TOKYO ELECTRON Mercury System ist eine ideale Wahl für hochpräzise, hochauflösende IC-Herstellung, die stabile, genaue und wiederholbare Funktionsgrößen erfordert. Dank seiner fortschrittlichen Funktionen wird es von mehreren Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen auf der ganzen Welt übernommen.