Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384186 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion ist eine Photolackanlage der nächsten Generation für die Halbleiterlithographie. Es wurde entwickelt, um den neuesten Fortschritten in der Technologie wie extreme ultraviolette (EUV) Lithographie, tiefe UV (DUV) Lithographie und erweiterte optische Lithographie gerecht zu werden. Das FSI Orion System bietet die neuesten Fortschritte in den Bereichen Musterschreiben, Wafermanagement, Exposition und Postprozess. Das Gerät wurde entwickelt, um branchenführende Auflösung und Durchsatz zu bieten und gleichzeitig die höchsten Anforderungen an Genauigkeit und Präzision zu erfüllen. Die TEL Orion-Maschine umfasst ein mehrachsiges Maskenschreib- und Ausrichtungswerkzeug sowie einen Waferlader/Entlader und eine Stepper/Scanner-Plattform. Das Maskenschreibmodell besteht aus einem Abbildungsgerät mit mehreren Wellenlängen und hoher Auflösung, einer Substratplatte mit mehreren Schichten und einem Maskenausrichtungssystem, das in der Lage ist, sich auf einem Sub-Nanometer-Niveau auszurichten. Die Wafer-Lade-/Entladeeinheit bietet die Möglichkeit, Substrate und Platten schnell und präzise zu be- und entladen. Die Stepper/Scanner-Plattform ist in der Lage, ultrafeine Muster mit hoher Präzision in einer Vielzahl von Lithographietechnologien abzubilden. TOKYO ELECTRON Orion Maschine verfügt auch über integrierte Metrologie-Fähigkeiten, die eine Inline-Prozessüberwachung und -steuerung ermöglichen. Das Tool enthält eine Dual-Wellenlängen-Messtechnik, die Sub-Nanometer-Funktionen im Wafer erkennen kann. Die Dual-Wellenlängen-Messtechnik kann auch Wafer-Pegelreste analysieren, was eine engere Prozesskontrolle ermöglicht. Das Modell umfasst auch eine integrierte Prozessrezept-Bibliothek und eine erweiterte Inline-Prozesssteuerung, um eine konsistente Prozessleistung zu gewährleisten. Orion-Ausrüstung ist entworfen, um überlegene Lithographie-Leistung mit einem Preis zu bieten, der mit anderen High-End-Lithographie-Systemen konkurrenzfähig ist. Das System ist mit einer Skalierbarkeit ausgelegt, die bei Bedarf eine modulare Erweiterung ermöglicht, so dass Upgrades einfach implementiert werden können, wenn neue Technologien oder Prozesse eingeführt werden. Das Gerät ist hochflexibel und kann einfach für verschiedene Lithographielösungen konfiguriert werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über umfangreiche Remote-Support-Funktionen, die eine Fernansicht der Werkzeugleistung und Upgrades ermöglichen. Dies ermöglicht ein höheres Maß an Kundenservice und Support. Insgesamt ist FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion eine führende Photoresist-Anlage, die technologischen Fortschritten gerecht wird und branchenführende Auflösung und Durchsatz bietet. Die Flexibilität, Skalierbarkeit und Remote-Unterstützung des Modells sind wichtige Merkmale, die es zu einer wettbewerbsfähigen Wahl für die Halbleiterlithographie machen.