Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384197 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion ist eine Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Photolacksysteme ermöglichen die präzise Konditionierung von Materialien, mit denen Komponenten auf nanoskaliger Ebene erzeugt werden. FSI Orion System ist eine Photoresist-Asche-, Stripp- und Entwicklungseinheit, die in der Lage ist, Dunkelfeld, reflektierende und transmissive Bildgebung. Es bietet eine verbesserte Präzision und Kontrolle durch eine Kombination aus vakuumreaktiven Ionenätzen (VRIE) und nichtreflektierenden Abscheidungsprozessen (NRD). Diese Maschine wurde entwickelt, um die Prozesseffizienz mit schnellen Aschezeiten und vollautomatischer Reihenfolge zu maximieren. TEL Orion kann eine Vielzahl von Photoresist-Materialien verarbeiten, darunter Polyimid, Silsesquioxan, Photo-Polymer, Benzocyclobuten sowie negative und positive Photoresists. Es ist auch in der Lage, mehrere gleichzeitige Prozessoperationen wie Substratreinigung, Ätzen, Rückätzen, Abstreifen, Widerstandshärten und Temperaturglühen durchzuführen. Das Werkzeug ist mit einer 1,3 Gigawatt Hochfrequenzquelle ausgestattet, mit gleichmäßigen Ätzraten über jedes Substrat. Die verbesserte Temperaturgenauigkeit, optimierte Plasmabedingungen und der Einsatz von Gasmischungen verleihen dem Anwender eine bessere Prozessgenauigkeit. Darüber hinaus bietet das Asset Zuverlässigkeit und Geräteintegrität über eine Vielzahl von Bedingungen mit einem optionalen Inline-Inspektionsmodell für die Datenerfassung in Echtzeit. Orion ist auch voll automatisierbar mit FSI proprietäre Software, so dass es ein unschätzbares Werkzeug für Hochserien-Produktionslinien. Darüber hinaus ist es sehr einfach mit automatisierter Materialhandhabung und laufender Terminplanung zu managen. Daher müssen sich Benutzer keine Sorgen um die manuelle Eingabe von Daten oder die ständige Anpassung der Hardware machen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Orion eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um präzise und effiziente Ergebnisse zu erzielen, die eine ausgezeichnete Geräteintegrität über eine breite Palette von Prozessbedingungen hinweg ermöglichen. Es ist ideal für die Serienproduktion und bietet einen automatisierten, einfach zu verwaltenden Prozess. Mit seinen schnellen Aschezeiten und der verbesserten Präzision ist dieses System ein unschätzbares Werkzeug für jeden Halbleiterherstellungsprozess.