Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293808180 zu verkaufen

ID: 293808180
Wafergröße: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP ist ein Photoresist-Gerät, das es Anwendern ermöglicht, Dünnschichtsubstrate für die Anwendung von Photoresist und das Ätzen von Mustern in die Oberfläche zu spinnen. Dieses innovative System wurde entwickelt, um eine zuverlässige, genaue und effiziente Verarbeitung mit hohem Produktionsdurchsatz zu ermöglichen. Die Grundkonstruktion der Einheit besteht aus einem abgewinkelten Radialarm zur manuellen Drehung, einem Planetenmotor zur Drehzahlregelung und einem Spannfutter zum glatten und sicheren Halten von Substratscheiben. Sein 220 ° vertikaler dynamischer und einstellbarer Bewegungsbereich ermöglicht das einfache Be- und Entladen von Substraten aus Spinnkassetten. Dieses Merkmal eignet sich auch für gleichmäßige Dünnfilm-Spin-Coating-Prozesse, bei denen der Arm zur Stabilisierung des Substrats und zur Aufrechterhaltung einer konstanten Rotation während des Spincoating-Prozesses eingestellt werden kann. Der PFA-Drehteller ist mit Hochleistungskomponenten gefertigt, die auf Dauer entwickelt wurden, wie eloxierte Aluminiumkomponenten, superglatte Linearlager und langlebige Kupplungen. Seine zuverlässige Montage gewährleistet die geringste Vibration, maximale Standzeit und Genauigkeit. Die Maschine hat auch eine optionale säurebeständige Beschichtung, so dass sie der chemischen Abscheidung von Photoresists und Ätzmaterialien standhalten kann. Die Spindeldrehung wird durch einen variablen Frequenzantrieb gesteuert, der auf 0,1 Hz genau ist und eine geringe Reichweite zwischen 100 und 20.000 U/min ermöglicht. Der Antrieb ist zudem mit digitaler Sollwertregelung mit automatischer Beschleunigungs- und Verzögerungsregelung sowie Überdrehzahlschutz für Motor und Substrat ausgestattet. FSI PFA Turntable für Mercury MP wurde entwickelt, um eine zuverlässige, effiziente und genaue Photolackverarbeitung für einen hohen Produktionsdurchsatz zu gewährleisten. Sein fortschrittliches Design und seine Konstruktion, zusammen mit seinem motorisierten Radialarm und dem einstellbaren Bewegungsbereich, ermöglichen einen optimalen Spin-Beschichtungsprozess, vom Beladen bis zum Entladen von Substratscheiben. Seine Hochleistungskomponenten und zuverlässige Montage sorgen dafür, dass es die härtesten Photolackanwendungen mit Leichtigkeit bewältigen kann.
Es liegen noch keine Bewertungen vor