Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9252200 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury ist eine hochpräzise Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in Lithographieanwendungen. Der Drehteller verwendet eine rotierende mechanische Plattform und ein fortschrittliches Photoresist-Abgabesystem, um eine gleichmäßige Beschichtung von Photoresist über eine Reihe von Substratgrößen und -formen bereitzustellen. Das Gerät wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen in der Produktions-Lithographie zu erfüllen, bietet überlegene Durchsatz unter Beibehaltung der Stabilität der Belichtung und Beschichtung. Die Drehscheibenmaschine verfügt über eine ausgeklügelte Regelungsarchitektur, die eine präzise Steuerung der kritischen Richtungs- und Geschwindigkeitsparameter während der Substratrotation ermöglicht, um die Gleichmäßigkeit der Prozessabdeckung zu maximieren. Diese Präzisionsplattform wurde entwickelt, um geräuscharm und drift, mit hoher Präzision während des gesamten Prozesses. Der Drehtisch verwendet ein direktes Antriebsmotorwerkzeug und einen ultrapräzisen Winkelgeber, um Einstellfehler durch Vibrationen oder Luftstörungen zu minimieren. Dies gewährleistet die Wiederholbarkeit der Prozessergebnisse, wobei das Gut die Rotationsgenauigkeit und Gleichmäßigkeit innerhalb der engen Toleranzen von Lithographieanwendungen aufrechterhalten kann. Die Quecksilberquelle ist an der Vorderseite des Plattenspielers angebracht und liefert zuverlässig, stabil und energieeffizient Photolack an Substrate. Die Quelle kann auch mit fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen optimiert werden, um eine konsistente Bildgleichförmigkeit während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Es ist mit einer Reihe von Sicherheitssystemen ausgestattet, die das Risiko einer versehentlichen Prozesskontamination verringern. Darüber hinaus verfügt der Drehtisch über eine Schnellwechselfunktion, die das gleichzeitige Be- und Entladen von Substraten ermöglicht, um die Produktivität zu verbessern. Die Plattform ist kompatibel mit verschiedenen Formaten von Substraten, einschließlich Quarz, Glas, Silizium-Wafer und organischem Substrat. Mit der Wahl der Ladekapazität, einschließlich 150mm, 200mm oder 300mm, werden diese Wafer schnell verarbeitet und bieten die notwendige Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Lithographieverfahren. FSI PFA Turntable for Mercury bietet eine zuverlässige Lösung für Lithographieanwendungen, die ein hochpräzises Antriebsmodell und fortschrittliche Photolackausrüstungen mit den neuesten Sicherheitsmerkmalen in einem kompakten und benutzerfreundlichen Design kombiniert.