Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntables for Mercury #293653294 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury ist eine hochmoderne Photolackanlage für die Halbleiterherstellung. Es bietet eine leistungsstarke Lösung für die Weiterentwicklung von Lithographie-Prozessen. Dieses System nutzt eine Plattform ultrapräziser Plattenspieler in Verbindung mit fortschrittlicher Mercury High-End Photoresist Processing Technologie. FSI PFA Drehscheibe bietet zuverlässige gehobene Produktion, während die Produktion von kleinen Strukturen so klein wie 25 nm. Dieses Gerät bietet überlegene Präzision und ermöglicht eine Auflösung komplexer Muster mit ausgezeichneter Overlay-Genauigkeit. Der modulare Aufbau ermöglicht eine breite Palette von anpassbaren Konfigurationen. Der Plattenspieler verfügt über eine eingebaute Prozessstation, die den kompletten Photolackprozess ermöglicht. Es enthält eine integrierte Heizplatte, Springbrunnen und eine interne Diffusionspumpe. Die integrierte Heizplatte hat eine hohe Temperaturfähigkeit bei guter Gleichmäßigkeit. Es hat auch eine schnell bewegliche Heizplatte, die schnelle Drehzeiten und effizientes Radfahren ermöglicht. Die Brunnen sollen eine gleichmäßige Flüssigkeitsverteilung und genaue Dosierung ermöglichen, so dass präzise Ergebnisse erzielt werden. Die Diffusionspumpe hilft, verschiedene unerwünschte Partikel aus dem Prozess zu entfernen. FSI PFA Drehscheibe für Merkur verfügt auch über Temperaturrückkopplung, was bedeutet, dass die Temperatur kontinuierlich überwacht wird. Dies trägt dazu bei, thermische und Prozessdrift zu minimieren, die Leistung und Konsistenz zu verbessern. Darüber hinaus verfügt es über eine integrierte Laser Video Measurement Machine (LVMS), die eine automatische Datenerfassung für eine bessere Prozesssteuerung und einen besseren Rezepturdruck initiiert. Dieses Werkzeug enthält einen 128-Bit-Mehrrichtungsgeber, der eine präzise Steuerung der Musterposition und Orientierung ermöglicht. Weitere Merkmale sind ein geschlossenes Design und eine reinraumkompatible Edelstahlkonstruktion, die eine sichere und saubere Betriebsumgebung gewährleistet. Der PFA-Plattenspieler ist auch mit anderen Prozesswerkzeugen kompatibel und bietet eine breite Palette von kundenspezifischen Lösungen. Die Kombination all dieser Komponenten hilft, wiederholbare und zuverlässige Prozesse mit extrem genauer Kontrolle der Musterausrichtung und Parameter zu ermöglichen. Insgesamt ist TEL PFA Turntable for Mercury ein zuverlässiges und effizientes Photoresist-Asset, ideal für die Halbleiterherstellung und bietet überlegene Präzision und Wiederholbarkeit. Der modulare Aufbau ermöglicht eine breite Palette anpassbarer Konfigurationen und die Hochtemperaturintegration sorgt für eine leistungsstarke Lösung.