Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000 #9264626 zu verkaufen

FSI Polaried 1000 (FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000) ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das auf die Oberfläche eines Halbleiterwafers aufgebracht wird, um Muster in den verschiedenen Schichten des Geräts zu erzeugen. Dies ist wichtig für die Herstellung von integrierten Schaltungen, da es die genaue und genaue Platzierung von Transistoren, Kondensatoren und anderen Komponenten ermöglicht. FSI Polaris 1000 System verwendet tiefes ultraviolettes Licht (DUV), um Photoresist auf einer Vielzahl von Substraten schnell zu belichten. Dieses Licht wird von einer einzigen 400mm Titan dotierten Saphirlampe (Ti: S) geliefert, die Licht bei einer Wellenlänge von 250 nm liefert. Darüber hinaus ist die Einheit in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Beleuchtungsmodi unterzubringen, einschließlich rechteckiger paralleler, ringförmiger und gleichmäßiger Abtastung. TEL Polaris 1000 verfügt außerdem über eine vollautomatische Messtechnik (CCD), die zur Messung photolithographiebezogener Parameter verwendet wird. Dieses Werkzeug ist in der Lage, die Linearität und Warm-/Kaltverschiebung von Bildern auf der Waferoberfläche zu messen. Zusätzlich ist die Anlage mit Verschluss- und Autofokusmodulen ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Fotolack präzise belichtet wird. Polaris 1000 ist für den Einsatz in Reinräumen konzipiert. Es wird mit Klasse 1.000 bewertet, was bedeutet, dass es entwickelt wurde, um eine Reinraumumumgebung mit nicht mehr als 1000 Partikeln der Größe 0,5 μ m oder größer pro Kubikfuß Luft zu erhalten. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, bis zu 50 Rezepte zu speichern, so dass es einfach ist, wiederholte Operationen schnell zu programmieren. TOKYO ELECTRON Polaris 1000 ist eine einfach zu bedienende, zuverlässige und effiziente Photolackausrüstung für Halbleiterhersteller. Es ist in der Lage, hochpräzise Bilder auf verschiedenen Substraten zu erzeugen, und sein CCD-Messsystem ermöglicht genaue Messungen kritischer Prozessparameter. Mit seinen integrierten Sicherheitsmerkmalen ist FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000 eine gute Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage.